[发明专利]用于快速热处理腔室的灯

权利要求书

1.一种灯组件，包括：

灯泡，该灯泡包围住贴附至一对电连接器的至少一可产生光线的灯丝， 该灯泡具有内部表面与外部表面；

灯座，包括该对电连接器，该灯组件适用于基板热处理腔室以加热该 基板至高达至少约1100℃的温度，至少一部份该灯泡具有灯泡的下方部分 上的从灯座延伸的表面处理，以反射光线离开该灯座，

其中，该表面处理包括一漫散射组件，位于该灯泡的下方部分的内部 表面上。

2.如权利要求1所述的灯组件，其中该表面处理进一步包括一涂层， 该涂层设于该灯泡的至少所述下方部分的外部表面，该涂层是选自由铝、 金、银、氮化硼及其组合所组成的群组中。

3.如权利要求2所述的灯组件，其中该涂层包括高温涂料。

4.如权利要求1所述的灯组件，其中该表面处理进一步包括一涂层， 该涂层设于该灯泡的至少所述下方部分的外部表面，该涂层是选自由粉末 状二氧化硅、氧化铝、锆石及其组合所组成的群组中。

5.如权利要求1所述的灯组件，其中该表面处理包括酸处理，以赋予 该灯泡内部表面有粗糙表面，该粗糙表面适于使光散射离开该灯座，并使 朝向该灯座的辐射光的移动可被最小化。

6.如权利要求1所述的灯组件，其中该表面处理包括一层设于该内表 面上的烧结粉末材料，以使光可散射离开该灯座，并使朝向该灯座的辐射 光的移动被最小化。

7.如权利要求6所述的灯组件，其中该烧结粉末材料包括粉末石英、 氧化铝、或其混合物。

8.如权利要求7所述的灯组件，其中该烧结粉末材料是与粘结剂混合。

9.如权利要求1所述的灯组件，其中该表面处理包括倾入式内部反射 材料(a poured internal reflecting material)。

10.如权利要求1所述的灯组件，更包括套管，该套管包围住该灯座， 该套管的截面面积小于该灯泡的截面面积的1.2倍。

11.如权利要求10所述的灯组件，其中该套管的截面面积小于该灯 泡的截面面积的0.95倍，且该灯座与该套管的截面形状基本上相似。

12.如权利要求10所述的灯组件，其中该套管的截面面积小于该灯 泡的截面面积的0.42倍。

13.一种灯组件，包括：

灯泡，该灯泡围住贴附至一对电连接器的至少一线圈，该灯泡具有内 表面与外表面；

灯座，包括该对电连接器；以及

套管，该套管包围住该灯座，该套管的截面面积小于该灯泡的截面面 积的0.95倍，该灯组件适用于基板热处理腔室中以加热基板至高达至少约 1100℃的温度。

14.如权利要求13所述的灯组件，更包括反射涂层于至少一部份该 灯泡上从所述灯座延伸。

15.如权利要求14所述的灯组件，其中该反射涂层是位于该灯泡的 至少一下方部分的外部表面，该涂层是选自由金、银、氮化硼、粉末二氧 化硅、粉末氧化铝、粉末氧化锆及其组合所组成的群组。

16.如权利要求14所述的灯组件，更包括漫散射组件，该漫散射组 件设于该灯泡的内部表面上并从所述灯座延伸。

17.如权利要求16所述的灯组件，其中该漫散射组件包括粗糙表面。

18.如权利要求16所述的灯组件，其中该漫散射组件包括烧结粉末， 其选自硼氮化物、银、二氧化硅、氧化锆、氧化铝及其组合。

19.如权利要求14所述的灯组件，该组件为无套管结构。