[发明专利]加热炉以及加热炉的加热方法

权利要求书

1.一种加热炉，对被加热体进行辐射加热，其特征在于，

具备：

第一室，其收纳被加热体，且具有气体的导入口以及排出口；

第二室，其与上述第一室相邻，且收纳加热源，并具有气体的导入 口以及排出口；

隔离部件，其将上述第一室和上述第二室隔离开，且来自上述加热 源的辐射线穿过该隔离部件；

气体检测部，其位于上述第二室内或者从上述第二室排出的气体的排 出路上，且检测从上述第一室泄漏到上述第二室的气体即第一气体的流 量，

在通过上述气体检测部检测到第一气体为规定值以上的情况下，进 行安全控制以抑制上述第二室内的第一气体的含有量的上升，

上述第一室以及上述第二室的气氛以及气氛压力，能够通过经由各 自的导入口以及排出口的气体的进出而变化。

2.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，上述安全控制为 停止第一气体向上述第一室的导入。

3.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，上述安全控制为 提高被导入到上述第二室的惰性气体的流速。

4.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，

具备：

第一压力计，其测量上述第一室的气氛压力；

第二压力计，其测量上述第二室的气氛压力；

控制部，其基于上述第一压力计的测量结果与上述第二压力计的测量 结果，来控制上述第一室的气氛压力与上述第二室的气氛压力，

上述控制部进行控制，以使在进行被加热体的加热处理时，上述第 二室的气氛压力高于上述第一室的气氛压力，并使上述第一室的气氛压 力与上述第二室的气氛压力之间的压力差成为规定值以下。

5.一种加热炉的加热方法，该加热炉对被加热体进行辐射加热，且 具备：第一室，其收纳被加热体；第二室，其与上述第一室相邻，且收 纳加热源；隔离部件，其将上述第一室和上述第二室隔离开，且来自上 述加热源的辐射线穿过该隔离部件，该加热方法的特征在于，包括：

准备步骤，其在将被加热体搬入到上述第一室内之前，将上述第二 室内置换为惰性气体的气氛，且将上述第二室的气氛压力提高到高于大 气压；

减压步骤，其在被加热体被搬入到上述第一室内之后，对上述第一 室的气氛进行减压以达到规定的压力；

加热步骤，其在对上述第一室内进行减压之后，进行加热以使被加 热体的温度达到规定的温度。

6.根据权利要求5所述的加热炉的加热方法，其特征在于，在上 述准备步骤中，在将上述第二室内置换为惰性气体的气氛之后，进行气 流吹送控制步骤，其将上述第二室保持在规定的气氛压力，同时形成从 上述第二室的导入口朝向排出口流动的惰性气体的气流，由此，将上述 第二室内的气氛压力提高到高于大气压的状态。

7.根据权利要求5所述的加热炉的加热方法，其特征在于，在上述减 压步骤以及上述加热步骤中，以使上述第二室的气氛压力高于上述第一室 的气氛压力，且使上述第一室与上述第二室之间的气氛压力的压力差达到 规定值以下的方式，与上述第一室内的气氛压力的变化连动地控制各室的 气氛压力。