[发明专利]包括差动传感器MEMS器件和带孔衬底的电子器件

权利要求书

1.一种电子器件(1，1a，1b，1c，1d，1e)，包括：

-衬底(2)，其设有至少一个通行开口(5)，

-MEMS器件(7)，其具有设有第一及第二表面(9，10)的差动 传感器的功能和具有包括至少一个对与其第一作用表面及第二相对 作用表面(11a，11b)相一致存在的流体的化学和/或物理变化敏感 的部分(11)的类型的功能，所述MEMS器件(7)的所述第一表面(9) 使所述第一作用表面(11a)暴露，并且所述第二表面(10)设有暴 露着所述第二作用相对表面(11b)的另一开口(12)，所述MEMS器 件(7)的所述第一表面(9)面向所述衬底(2)并且与其隔开一段 确定距离，所述敏感部分(11)与所述衬底(2)的所述通行开口(5) 对准，该电子器件(1，1d，1e)还包括：

-保护性封装(14，14a，14b)，其至少部分地合并所述MEMS 器件(7)和所述衬底(2)以便使所述第一作用表面及第二相对作用 表面(11a，11b)分别通过所述衬底(2)的所述通行开口(5)以及 所述第二表面(10)的所述另一开口(12)而暴露，

其中该电子器件进一步包括阻挡元件(15)，该阻挡元件包围着 所述敏感部分(11)以实现用于所述MEMS器件(7)的保护结构，从 而使得所述敏感部分(11)的所述第一作用表面(11a)不受影响， 以及

其中所述阻挡元件是在衬底(2)的上表面(3)上形成的第一不 规则区域(15a)或者所述阻挡元件是在所述MEMS器件(7)的所述 第一表面(9)上形成的第二不规则区域(15b)，所述第一和第二不 规则区域(15a，15b)包括保护性封装的形成步骤期间构成优选路径 的沟槽。

2.根据权利要求1所述的电子器件(1)，特征在于所述阻挡元 件(15)由焊接涂料形成。

3.根据权利要求1所述的电子器件(1)，特征在于第一不规则 区域(15a)在所述衬底(2)的所述上表面(3)上与所述敏感部分 (11)相一致地延伸。

4.根据权利要求1或3所述的电子器件(1)，特征在于第一不 规则区域(15a)是通过修改衬底(2)的上表面(3)的化学属性来 获得的。

5.根据权利要求1或3所述的电子器件(1)，特征在于所述第 一不规则区域(15a)由非可湿性材料形成。

6.根据权利要求1所述的电子器件(1)，特征在于第二不规则 区域(15b)在MEMS器件(7)的敏感部分(11)上延伸。

7.根据权利要求1或6所述的电子器件(1)，特征在于第二不 规则区域(15b)是通过修改MEMS器件(7)的所述第一表面(9)周 围的化学属性来获得的。

8.根据权利要求1或6所述的电子器件(1)，特征在于所述第 二不规则区域(15b)由非可湿性材料形成。

9.根据权利要求8所述的电子器件(1)，特征在于所述敏感部 分(11)的所述第一作用表面(11a)被非可湿性绝缘层(9b)和保 护层(9a)覆盖，所述第二不规则区域(15b)是通过从MEMS器件(7) 的所述第一表面(9)中去除所述保护层(9a)以暴露所述非可湿性 材料层(9b)来形成的。

10.根据权利要求9所述的电子器件(1)，特征在于所述保护层 (9a)是聚酰亚胺并且所述非可湿性材料层(9b)是氧化物。

11.根据权利要求1所述的电子器件(1)，特征在于非可湿性材 料层与所述MEMS器件(7)的所述敏感部分(11)相一致地形成。

12.根据权利要求1所述的电子器件(1)，特征在于所述第二表 面(10)位于所述保护性封装(14)的上表面的侧面。

13.根据权利要求1所述的电子器件(1)，特征在于所述保护性 封装(14e)还覆盖所述第二表面(10)并且设有与存在于所述MEMS 器件(7)的所述第二表面(10)上的开口(12)对准的通行开口(17)。