[发明专利]透明导电膜用材料无效
| 申请号: | 200880001949.6 | 申请日: | 2008-01-08 |
| 公开(公告)号: | CN101605735A | 公开(公告)日: | 2009-12-16 |
| 发明(设计)人: | 长谷川彰;服部武司;重里有三 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
| 主分类号: | C04B35/453 | 分类号: | C04B35/453;C23C14/08;C23C14/24;H01B5/14;H01B13/00 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 熊玉兰;李平英 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 透明 导电 用材 | ||
1.一种透明导电膜用材料,其包含复合金属氧化物,该复合金属氧化物中含有选自Zn、Sn、O、及作为掺杂元素的元素周期表第5族~第10族元素中的至少1种元素。
2.根据权利要求1所述的材料,其中,所述掺杂元素为选自Ta、Nb及V中的至少1种元素。
3.根据权利要求1或2所述的材料,其中,Sn与掺杂元素的摩尔比为99.99∶0.01~80∶20。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的材料,其形态为烧结体。
5.一种制造透明导电膜的方法,该方法中包括使用权利要求4所述的材料作为靶的成膜工序。
6.一种包含权利要求1~3中任一项所述的材料的透明导电膜。
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