[发明专利]提供离子源供料材料的技术

权利要求书

1、一种供应离子源供料材料的容器，所述容器包括：

内腔，预填充有离子源供料材料；

外主体，配置为可载入对应外罩内且可由对应外罩内移除，所述外罩经由喷嘴总成耦接至离子源室；以及

出口，密封所述预填充的离子源供料材料，所述出口还配置为与所述喷嘴总成啮合，以在所述内腔与所述离子源室之间建立引流路径；

其中所述容器配置成抛弃式构件。

2、根据权利要求1所述的容器，还配置成作为蒸发器坩锅，以加热所述离子源供料材料。

3、根据权利要求2所述的容器，其中所述外主体包括导热材料。

4、根据权利要求1所述的容器，其中所述出口包括膜，且所述出口与所述喷嘴总成的啮合使所述膜破裂，以建立所述引流路径。

5、根据权利要求1所述的容器，其中所述出口包括弹簧加载阀，且所述出口与所述喷嘴总成的啮合使所述阀打开。

6、根据权利要求1所述的容器，其中所述供料材料以非气态形式进行预填充。

7、根据权利要求6所述的容器，其中所述供料材料包括碳硼烷。

8、根据权利要求6所述的容器，其中所述供料材料包括一种或多种硼烷。

9、根据权利要求6所述的容器，其中所述供料材料与吸氢材料进行预混合。

10、根据权利要求1所述的容器，还包括机器可读标识，以对与所述容器的内容物相关的信息进行编码。

11、一种提供离子源供料材料的装置，所述装置包括：

外罩，以容纳预填充有供料材料的密封的容器，所述外罩配置为使得密封的所述容器可载入所述外罩内并可从所述外罩内移除；

喷嘴总成，将所述外罩耦接至离子源室；以及

机构，使所述喷嘴总成与所述容器啮合，以在所述容器与所述离子源室之间建立引流路径。

12、根据权利要求11所述的装置，其中：

密封的所述容器包括由膜密封的出口；

所述喷嘴总成包括刚性构件；以及

所述机构通过使所述刚性构件穿透所述膜而使所述喷嘴总成与所述容器啮合。

13、根据权利要求12所述的装置，其中：

当所述容器刚载入所述外罩内时，所述容器的所述出口位于所述刚性构件的附近；以及

所述机构使所述容器朝向所述刚性构件滑动，以穿透所述膜。

14、根据权利要求11所述的装置，其中所述供料材料以非气态形式预填充于所述容器内。

15、根据权利要求14所述的装置，其中所述供料材料包括碳硼烷。

16、根据权利要求14所述的装置，其中所述供料材料与吸氢材料进行预混合。

17、根据权利要求14所述的装置，还包括：

加热机构，当所述容器载入所述外罩内并与所述喷嘴总成啮合时，所述加热机构蒸发所述供料材料。

18、根据权利要求17所述的装置，其中所述加热机构包括与所述容器的坩锅部分热接触的一个或多个加热元件。

19、根据权利要求11所述的装置，其中：

所述容器由弹簧加载阀密封，当所述容器刚载入所述外罩内时，所述弹簧加载阀保持在关闭位置；以及

所述机构通过将所述弹簧加载阀压下至打开位置而使所述喷嘴总成与所述容器啮合。

20、根据权利要求11所述的装置，其中所述机构配置成仅当所述离子源室达到预设真空位准时，才使所述喷嘴总成与所述容器啮合。

21、根据权利要求11所述的装置，其中所述容器包括编码有电脑可读信息的标签，所述电脑可读信息与所述供料材料和所述容器中的至少一者相关。

22、根据权利要求21所述的装置，还包括：

检测器，读取所述电脑可读信息；以及

处理器，处理所述电脑可读信息。

23、根据权利要求22所述的装置，其中所述处理器配置成当已处理的所述电脑可读信息未达到一个或多个预设标准时，拒绝处理所述容器。