[发明专利]涂层剥离剂无效
申请号: | 200880001648.3 | 申请日: | 2008-01-03 |
公开(公告)号: | CN101578556A | 公开(公告)日: | 2009-11-11 |
发明(设计)人: | 张汝志;卢炳宏 | 申请(专利权)人: | AZ电子材料美国公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 陈 宙 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 涂层 剥离 | ||
1.一种剥离组合物,其包含:氟化物源;有机季铵碱;和选自 有机溶剂、水、和其混合物的溶剂。
2.权利要求1的组合物,其中氟化物源是有机氟化物盐。
3.权利要求1或2的组合物,其中氟化物源选自:脂族季铵盐, 脂族/芳基季铵盐,二季铵二氟化物盐,具有式[芳基]q[烷基]rSi[F]s的四烷基铵二氟三芳基(或者三烷基或芳基和烷基的混合物)二硅酸 盐,其中q为1或2,r为1或2,和s为2或3;具有下式的化合物
其中R1是0-3个取代基,其每一个独立地是烷基、烯基、芳基、烷酰 基、烷氧基或硝基;和R2是烷基,DABCO(1,4-二氮杂双环[2.2.2]辛 烷)的二季铵氟化物盐,吡啶鎓氟化物盐,咪唑烷氟化物盐,四唑鎓氟 化物盐,1-氟-4-氯甲基-1,4-二氮杂双环[2.2.2]辛烷双(四氟硼酸 盐),1-氟-4-羟基-1,4-二氮杂双环[2.2.2]辛烷双(四氟硼酸盐), N,N′-二氟-2,2′-联吡啶鎓双(四氟硼酸盐),′N-F′试剂,′[N-F]+′试 剂,2,2-二氟-1,3-二甲基咪唑烷,二乙基氨基三氟化硫,RaRbN-CF2-Rc, 其中Ra是氢或烷基,Rb和Rc各自选自烷基或芳基,和全氟丁烷磺酰氟, 其水合物,以及其混合物。
4.权利要求3的组合物,其中氟化物源是脂族氟化季铵和其水 合物,其选自四-C1-6-烷基氟化铵,三-C1-6-烷基C6-20-烷基氟化铵,二 -C1-6-烷基二C8-20-烷基氟化铵,和其混合物。
5.权利要求4的组合物,其中氟化物源是四-C1-4-烷基氟化铵和 其水合物。
6.权利要求5的组合物,其中氟化物源是四丁基氟化铵和其水 合物。
7.权利要求1-6任一项的组合物,其中有机季铵碱是未取代或 取代的脂族氢氧化铵、未取代或取代的芳基氢氧化铵、或其混合物。
8.权利要求7的组合物,其中有机季铵碱是未取代或取代的四 烷基氢氧化铵。
9.权利要求8的组合物,其中有机季铵碱选自:四甲基氢氧化 铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四异丙基氢氧化铵、四丁基 氢氧化铵、三甲基乙基氢氧化铵、(2-羟乙基)三甲基氢氧化铵、(2- 羟乙基)三乙基氢氧化铵、(2-羟乙基)三丙基氢氧化铵、(1-羟丙基) 三甲基氢氧化铵、乙基三甲基氢氧化铵、二乙基二甲基氢氧化铵、二 甲基二乙基氢氧化铵、三甲基(2-羟乙基)氢氧化铵、三甲基3-羟丙基 氢氧化铵、三甲基3-羟丁基氢氧化铵、三甲基4-羟丁基氢氧化铵、三 乙基2-羟乙基氢氧化铵、三丙基2-羟乙基氢氧化铵、三丁基2-羟乙 基氢氧化铵、二甲基乙基2-羟乙基氢氧化铵、二甲基二(2-羟乙基)氢 氧化铵、单甲基三(2-羟乙基)氢氧化铵、四异丁基氢氧化铵、四叔丁 基氢氧化铵、单甲基三乙基氢氧化铵、单甲基三丙基氢氧化铵、单甲 基三丁基氢氧化铵、单乙基三甲基氢氧化铵、单乙基三丁基氢氧化铵、 二甲基二丁基氢氧化铵、三乙基(2-羟乙基)氢氧化铵、苄基三甲基氢 氧化铵、癸基三甲基氢氧化铵、和其混合物。
10.权利要求9的组合物,其中有机季铵碱是四甲基氢氧化铵。
11.权利要求1-10任一项的组合物,其中溶剂是水和有机溶剂或 者有机溶剂的混合物。
12.权利要求11的组合物,其中溶剂是有机溶剂或有机溶剂的混 合物。
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