[实用新型]300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统

说明书

技术领域

本实用新型属于一种硅片加工装置，具体的是一种用于硅片加热氧化工艺的氧化炉的硅片传送装置。

背景技术

硅片是一种重要的半导体材料，它的加工工艺，特别是氧化工艺是一种对自动化传送要求特别高的工艺。目前国内设计的硅片氧化炉大多是卧式结构的，其各项功能的控制精度、灵活性和自动化程度等无法满足300mm工艺需求。特别是硅片的传送大都是用人工取放方式，工作效率低，安全性差，严重影响产品的质量。因此，需要提出一种自动化程度较高的硅片传送装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统，该系统控制灵活，自动化程度高，安全性好。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置、取片叉，其特征在于：所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉设有单片叉和5片叉，分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个多轴机械臂连接，机械臂设置在底座上，该底座固定在所述升降装置的升降臂上；在机械手臂、机械臂上设有伺服电机及其控制部件，机械手臂、机械臂和升降装置的伺服电机的控制部件与PLC控制器控制连接。

在5片叉上设有片叉间距自动调节部件。

在单片叉上还设有FOUP中硅片状态检测传感器。

本实用新型采用5+1片叉形式，分为上下两个手臂，上面手臂装有1个片叉，下面手臂装有5个片叉，5个片叉同时动作取片，大大提高了生产效率；5个片叉可以任意改变片叉之间的间距，这样就可以根据石英舟的槽间距，来调整5个片叉的间距，使机械手的适用范围更广泛；片叉上带有传感器，能判断FOUP中硅片的状态，然后再进行传片。升降装置为单轴运动系统，使用伺服电机，保证传片机械手将硅片装载到不同高度的石英舟上；升降机构的排气装置，减少运动产生的颗粒，保证硅片在传输过程中的清洁，提高产品的合格率，增加效益。本实用新型具有结构完善，自动化程度高，控制灵活，效率高，应用范围广的优点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明：实施例：参见附图，300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置1、取片叉2，所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉2设有单片叉2.1和5片叉2.2，分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个三轴机械臂3连接，机械臂设置在底座4上，该底座固定在所述升降装置的升降臂上；在机械手臂、机械臂上设有伺服电机及其控制部件，机械手臂、机械臂和升降装置的伺服电机的控制部件与PLC控制器5控制连接。在5片叉上设有片叉间距调节部件。在单片叉上还设有FOUP中硅片状态检测传感器。