[实用新型]多晶硅氢还原炉硅芯棒与石墨夹头的连接装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅氢还原炉结构，主要涉及多晶硅氢还原炉硅芯棒与石墨夹头的连接装置。

背景技术：

在多晶硅生产中，多晶硅氢还原炉是整个生产中极其重要的设备之一，氢还原炉中的硅芯与石墨夹头接触不良有可能造成打压和生长过程中的“倒炉”事故。现有技术中，大多是石墨夹头和硅芯直接接触，由于硅芯在拉制和打磨过程中，现有技术无法达到所需要的精度。造成硅芯和石墨夹头接触不良，硅芯启动后会出现很多“亮点”(即由于接触不好造成局部电阻过大，相同电流流过的时候此处发热量更大，温度更高，看起来比其它部位亮)。亮点温度一旦控制不好，硅芯就会熔断，进而造成倒炉。另一方面，为了使石墨夹头夹瓣与硅芯更好的接触，工人往往采用拧紧锁紧螺母的方法。这样就造成硅芯下端被夹得过“死”，由于电器控制系统自身的缺陷，电压调整无法即时跟进硅芯电阻变化，硅芯在启动的瞬间就会出现一个很大的电流变化，硅芯之间就会出现一个较大的磁感应力。硅芯上端为悬空状态，而下端被夹头固定，磁感应力就被转移到硅芯根部与石墨夹头相连的地方。如果硅芯夹的太“死”，磁感应力就会将硅芯齐根折断，进而造成倒炉事故。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述技术缺陷，提供一种多晶硅氢还原炉硅芯棒与石墨夹头的连接装置。本实用新型可有效解决硅芯棒和石墨夹头接触不良和接触和大电流变化下磁感应力将硅芯齐根折断的问题，大大降低了倒炉率。

为实现上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：

多晶硅氢还原炉硅芯与石墨夹头的连接装置，包括设置在炉盘上的电极，与电极一一对应安装的硅芯棒，所述电极与硅芯棒之间通过石墨夹头固定连接，其特征在于：在所述石墨夹头的夹瓣和硅芯棒之间设有柔性石墨垫，所述柔性石墨垫设置在石墨夹头的夹瓣顶部与硅芯棒之间，所述柔性石墨垫为至少一圈。

所述柔性石墨垫厚度为0.5~1mm，宽度为15~20mm。

本实用新型的优点在于：本实用新型在石墨夹瓣和硅芯之间加了一层柔性石墨，可以有效增加石墨夹瓣和硅芯的接触效果以及硅芯下端与夹瓣之间的弹性空间，有效解决了硅芯启动后出现亮点、熔融等现象。同时避免了硅芯在启动时被磁感应力折断。

附图说明

图1为多晶硅氢还原炉结构示意图。

图2为本实用新型结构示意图。

图中标记：1为外壳体，2为内壳体，3为硅芯棒，4为视镜，5为冷却水进水环管，6为炉盘，7为电极，8为支架，9为导轨，10为喷口，11为进、出气装置，12为柔性石墨垫，13为石墨夹夹瓣。

具体实施方式

多晶硅氢还原炉硅芯与石墨夹头的连接装置，包括设置在炉盘6上的电极7，与电极7一一对应安装的硅芯棒3，所述电极7与硅芯棒3之间通过石墨夹头固定连接，在所述石墨夹头的夹瓣13和硅芯棒3之间设有柔性石墨垫12，柔性石墨垫12厚度为0.5—1mm，宽度为15—20mm，所述柔性石墨垫12设置在石墨夹头的夹瓣13顶部与硅芯棒7之间，所述柔性石墨垫12为一圈，也可以根据生产需要增加圈数。本实用新型在石墨夹瓣和硅芯之间加了一层柔性石墨，可以有效增加石墨夹瓣和硅芯的接触效果以及硅芯下端与夹瓣之间的弹性空间，有效解决了硅芯启动后出现亮点、熔融等现象。同时避免了硅芯在启动时被磁感应力折断。