[实用新型]多晶硅氢还原炉有效
| 申请号： | 200820222841.7 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN201305653Y | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 戴自忠;张强 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C01B33/03 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 方 强 |
| 地址： | 614800四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 | ||
1、多晶硅氢还原炉，包括带有冷却装置的炉壳(1、2)，炉壳安装在炉盘(6)上；炉盘(6)上布有进、出气管(11)，进气管(11)的进气端上设有喷口(10)，炉盘(6)上设有加热电极(7)，电极(7)上一一对应安装有硅芯棒(3)，其特征在于：所述还原炉炉盘(6)下部的进气管(11)与炉盘(6)上部的喷口(10)为可拆卸式连接，所述喷口(10)为石墨喷口；所述电极(7)与硅芯棒(3)之间通过石墨夹头(12)固定连接，石墨夹头(12)的夹瓣和硅芯棒(3)之间设有柔性石墨垫(16)，所述柔性石墨垫(16)设置在石墨夹头(12)的夹瓣顶部与硅芯棒(3)之间；电极(7)的电极头外侧与石墨夹头(12)底部的外侧设有螺纹，电极(7)的电极头与石墨夹头(12)底部之间通过螺母(13)连接。
2、根据权利要求1所述的多晶硅氢还原炉，其特征在于：所述电极(7)的电极头为正螺纹结构，所述石墨夹头(12)底部为与电极头正螺纹结构对应的反螺纹结构，电极头与石墨夹头底部之间通过带有正反内螺纹的螺母(13)连接。
3、根据权利要求1所述的多晶硅氢还原炉，其特征在于：所述电极(7)的电极头为反螺纹结构，所述石墨夹头(12)底部为与电极头反螺纹结构对应的正螺纹结构，电极头与石墨夹头底部之间通过带有正反内螺纹的螺母(13)连接。
4、根据权利要求1、2或3所述的多晶硅氢还原炉，其特征在于：所述还原炉炉盘(6)下部的进气管(11)与炉盘(6)上部的喷口(10)之间采用螺纹连接或扣接或插入式连接。
5、根据权利要求1、2或3所述的多晶硅氢还原炉，其特征在于：所述柔性石墨垫(16)厚度为0.5～1mm，宽度为15～20mm，所述柔性石墨垫(16)为至少一圈。
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