[实用新型]一种干式真空泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，特别涉及一种干式真空泵。

背景技术

为了降低半导体设备的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化。现有的干泵根据机械结构形式的不同，可以大致把干式真空泵分为：罗茨式、罗茨+爪式、螺杆式、涡旋式等。罗茨式以及罗茨+爪式组合式结构使得气体通路长而复杂，导致冷凝物的堆积和被化学气体腐蚀的可能性大大增加。由于都是多级设计，级与级之间又多采用密封，使得零部件较多，泄漏点较多，从而使得维修工作比较麻烦。而且罗茨+爪式干泵外形尺寸较大，运转噪声也较大。螺杆式和涡旋式真空泵转子形状特殊，带来加工、装配、定位要求精度高，且加工必须用专机，废品率高，不利于批量生产，成本较高，人们一直在寻求能直排大气的干式真空泵。

实用新型内容

为了解决以上装置的不足，本实用新型提供一种干式真空泵。

本实用新型采用的技术方案是：一种干式真空泵，包括底座、电机、转子和定子，转子由至少一级旋涡级组成，每一级旋涡级的外侧沿圆周方向设有环形凹槽，在凹槽里均匀分布有与凹槽等高的叶片；定子的圆周内侧设有旋涡槽，旋涡槽的级数与转子旋涡级的级数一致，旋涡槽内有一段升起的凸台，每一级旋涡槽与相对应的一级旋涡级构成一级抽气压缩单元；在相邻的两个压缩单元之间设有排气道，排气道位于定子圆周内侧相邻两个旋涡槽之间。

凹槽截面形状为近半圆形。叶片个数至少为30个，叶片横截面形状为矩形或者弓形，其中弓形的开口方向与转子旋转方向一致。每一级旋涡槽的截面形状为近半圆形。凸台位于每一级抽气压缩单元的气体压缩终止处，截面形状为近半圆形。排气道是两个旋涡槽之间凹下去一部分自然形成，排气道作为上一级抽气压缩单元的排气口和下一级抽气压缩单元的进气口。

本实用新型的有益效果是：本实用新型设计一种新型的干式真空泵，它采用旋涡加速的原理，可以单独使用，也可以作为干式真空泵机组中的前级泵使用。在相同体积的直排大气的干式真空泵中，它能达到更低的极限压力；而在相同极限压力的直排大气干式真空泵中，该泵具有更小的体积、更轻的质量。同时该泵气体通路短，气体可以快速排出，减少了冷凝物和微小颗粒堆积的可能。该泵结构简单，零部件少，易于加工，维修简单，同时该泵内运动件与泵腔无摩擦，故几乎无磨损，所以该泵振动小，噪声低。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型一种实施例的转子结构示意图；

图3是本实用新型一种实施例的定子结构示意图；

图中：1压盖，2定子，3转子，4主轴，5机械密封，6上轴承，7底座，8排气口，9电机转子，10电机定子，11下轴承，12油池，13进气道，14凸台，15排气道，16叶片。

具体实施方式

结合附图对本实用新型做进一步描述：

如图1为本实用新型一种实施例的结构示意图，包括底座7，与底座7相连的电机转子9，与主轴4相连的转子3，主轴4中心设有吸油孔，吸油孔通入底座下部的润滑油池12内，主轴4上设有出油处，出油处由多个出油孔构成，出油孔位于上轴承6和下轴承11附近，为上轴承6和下轴承11提供润滑油，上轴承6和下轴承11采用滚动轴承，密封采用机械密封5；转子3由三级旋涡级转子组成，每一级旋涡级转子的外侧沿圆周方向设有环形凹槽，凹槽截面形状为近半圆形，在凹槽里均匀分布有与凹槽等高的叶片16，叶片16横截面形状为矩形，转子3上方设有与定子2相连的压盖1，定子2的圆周内侧设有三级旋涡槽，每一级旋涡槽与相对应的一级旋涡级转子构成一级抽气压缩单元，压盖1上平面设有吸气口，当转子3旋转时，气体从吸气口进入，随后进入进气道13，然后气体进入一级抽气压缩单元，经过旋转的叶片16时获得能量，加速气流的运动，叶片16之间的气体和旋涡槽内的气体以旋涡的形式沿着转子3旋转方向运动，直至每一级抽气压缩单元的压缩终止处，相邻两级抽气压缩单元之间设有排气道15，气体通过排气道15从上一级抽气压缩单元进入下一级抽气压缩单元，排气道15与排气口8相连，经过抽气压缩单元的多次压缩从排气口8排向大气。

如图2为本实用新型一种实施例的转子结构示意图，转子3由三级旋涡级转子组成，每一级旋涡级转子的外侧沿圆周方向设有环形凹槽，凹槽截面形状为近半圆形，在凹槽里均匀分布有与凹槽等高的叶片16，叶片16横截面形状为矩形，转子3与定子2共同构成抽气压缩单元。

如图3为本实用新型一种实施例的定子结构示意图，定子2内侧有三级旋涡槽以及与旋涡转子相匹配的凸台14，定子2内侧设有进气道13和排气道15，进气道13与进气口相连，排气道15与排气口8相连。