[实用新型]一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器有效
| 申请号： | 200820218629.3 | 申请日： | 2008-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN201269842Y | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 马腾;谭大力;傅强;王珍;包信和 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 马 驰 |
| 地址： | 116023*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 表面 分析 系统 中的 电子束 加热器 | ||
1.一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器，其特征在于：包括样品台、电子枪灯丝、电子屏蔽罩、控制电源；
所述样品台下方设置有上端开口的环形的金属电子屏蔽罩，电子屏蔽罩的下方设置有样品台支撑杆，样品台支撑杆的下方设置有真空法兰；
于所述环形的电子屏蔽罩内设置有电子枪灯丝，电子枪灯丝的四周设置有金属电子枪灯丝罩，电子枪灯丝通过导线与外部控制电源上的灯丝接线端子相连；
在电子枪灯丝上方的电子枪灯丝罩和样品台上分别开设有孔，电子枪灯丝罩上的开孔与样品台上的开孔相对应。
2.按照权利要求1所述的电子束加热器，其特征在于：在所述的电子枪灯丝罩上设置有电子枪灯丝座，电子枪灯丝固定在电子枪灯丝座上，电子枪灯丝通过导线与控制电源相连。
3.按照权利要求1所述的电子束加热器，其特征在于：在所述样品台开孔处的外侧设置有用于测量样品台温度的热电偶。
4.按照权利要求1所述的电子束加热器，其特征在于：在所述样品台的上方，于其开孔处的二边分别设置有用于固定样品的直角形卡扣，卡扣指向开孔方向，形成样品滑道。
5.按照权利要求1所述的电子束加热器，其特征在于：所述样品台为梯形的平台，两侧设置有用于连接电子屏蔽罩的螺孔；
所述电子屏蔽罩兼有屏蔽电子枪杂散电子和连接样品台的作用；样品台和电子屏蔽罩及电子屏蔽罩和样品台支撑杆之间通过钼螺栓固接；在样品台与电子屏蔽罩及电子屏蔽罩与样品台支撑杆之间设置有绝缘陶瓷片。
6.按照权利要求1所述的电子束加热器，其特征在于：电子枪灯丝罩通过导线与控制电源上的高压端子相连，其可供施加高压来提高电子束加热器的加热效率。
7.按照权利要求1所述的电子束加热器，其特征在于：在所述的电子枪灯丝与外部控制电源上相连的电子枪灯丝导线上设置有连接接头，连接接头处于电子枪灯丝与真空法兰之间，通过连接接头可对电子枪灯丝与样品台之间的距离进行微调。
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