[实用新型]一种可变光阑

说明书

技术领域

本实用新型涉及通光装置，更具体地说，涉及一种可调节通光大小和形状的可变光阑。

背景技术

在半导体器件，液晶、等离子、有机EL等显示器件，光掩膜制造等精密(如微米、亚微米、深亚微米级)的激光微细加工领域，往往需要对激光束的光束外形进行整形，以令投影或成像的光束呈现出所需的几何形状(比如圆形或矩形等)的光斑。这些光斑的成型机构通常是光阑。

而在一些场合中，由于加工的对象(比如ITO玻璃的线路)有不同大小的尺寸，而且有不同工艺需要，激光束形成的光斑的大小和边缘位置要求能够进行调整，因此，需要使用可变光阑，来实现光斑的大小和边缘位置变换的要求。

如图4所示，是现有技术的一种光阑，其是在一个不透光的底板上，按工艺需要加工出一系列具有确定的尺寸、不同几何形状的透光光阑，以供不同加工工艺需求的选用。这种光阑无法实现连续可调，不便于实际使用。而且，这些光阑通常是针对某一类产品进行设计的，而需要加工不同产品时，往往需要重新设计透光光阑的尺寸、形状等，增加了成本。

如图5所示，是现有技术的另一种光阑，其通过驱动电机来带动螺杆转动；两个光阑片分别通过螺旋方向相反的螺母同时安装在螺杆上。在需要调整光阑片的距离时，通过驱动电机带动螺杆转动，在螺杆上的螺母同时相对或向背运动，从而实现光阑片的相对或向背运动，来调整光阑的大小。虽然，这种结构的光阑是连续可调的，但是，光阑片的运动必须是同步的，无法分别调整光阑片的每条几何边的精确位置，造成了光阑的定位困难。而且，该结构仅仅是调整两片光阑的距离，无法改变光阑的形状，不利于实际加工需求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述可变光阑的调整困难的缺陷，提供一种结构紧凑、体积较小、容易调整、精确的可变光阑。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种可变光阑，包括具有透光孔的基座、以及至少三组均布设置在所述透光孔的圆周上的调整机构；

每一所述调整机构均包括设置在所述基座上的导向机构、对应安装在所述导向机构上的挡光光阑片、以及驱动所述光阑片在所述导向机构上运动的驱动元件；

所述光阑片围成与所述透光孔相对的透光光阑。

在本实用新型所述的可变光阑中，所述驱动元件为电磁驱动的直线执行驱动元件；所述光阑片的一端固定在所述直线执行驱动元件的动力输出端上；或者，所述驱动元件为直线电机、电致伸缩执行元件、磁致伸缩元件或超声行进元件。

在本实用新型所述的可变光阑中，每一组所述调整机构的所述直线执行驱动元件的动力输出方向与所述导向机构的导向方向平行。

在本实用新型所述的可变光阑中，每一所述导向机构为导轨滑块副；所述光阑片固定安装在所述导轨滑块副的滑块上；所述导轨滑块副的导轨固定安装在所述基座上；或者，每一所述导向机构为无导轨的柔性铰链微动结构。

在本实用新型所述的可变光阑中，所述光阑片包括挡光部、在所述挡光部一侧设置的安装部、以及在所述安装部一侧设置的连接部；

所有所述光阑片的挡光部共同围成所述透光光阑；

所述安装部通过紧固件固定安装在所述导向机构上；

所述连接部通过紧固件固定安装在所述驱动元件的动力输出端。

在本实用新型所述的可变光阑中，所述光阑片的挡光部的截面形状为楔形。

在本实用新型所述的可变光阑中，所述光阑片为四个并呈涡旋状分布，分为运动方向相互垂直的两组，每一组包括两个所述光阑片；

所述导向机构对应为四个，并均布在所述基座的透光孔的四周，分为导向方向相互垂直的两组，每一所述光阑片对应安装在对应的每一导向机构上；

所述驱动元件对应为四个，均布安装在所述基座的外围，分为动力输出方向相互垂直的两组，同一组的所述驱动元件的动力输出方向平行并相反；

同一所述调整机构的所述驱动元件的动力输出方向与所述导向机构的导向方向平行。

在本实用新型所述的可变光阑中，同一组的所述光阑片的楔形斜面相对，而平面朝下；另一组所述光阑片的楔形斜面相对，而平面朝上，并贴紧所述朝下的平面。

实施本实用新型具有以下有益效果：通过设置多个光阑片，并且每一光阑片由独立的驱动元件驱动，在导向机构的导向方向上移动，使得光阑的每条几何边都可控制，实现光阑片的分别独立的调整，方便了光阑的形状、大小、位置的调整，具有调整方便、准确地优点。