[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 200820212178.2 | 申请日： | 2008-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN201274566Y | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 吴志江;刘明;王凯 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，其包括：电路板、覆盖于电路板的具有收容腔的上盖和分别置于电路板上的换能器和控制电路，换能器设有第一声腔，其特征在于：所述MEMS麦克风还设有声音隔离板，该声音隔离板将收容腔分成两个部分，即进声腔和后腔，所述换能器和控制电路收容于后腔内，上盖设有位于进声腔的入声孔，电路板设有连接进声腔的第一进声孔、连接换能器的第一声腔的第二进声孔和与第一、第二进声孔相通的进声通道。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述电路板包括第一线路层、第二线路层和夹在第一线路层和第二线路层间的中间线路层，所述第一、第二进声孔设于第一线路层，进声通道设于中间线路层。
3.如权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述上盖设有底壁和自底壁延伸的侧壁，所述声音隔离板自底壁延伸至电路板。
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