[实用新型]洗边机及洗边机的固定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种洗边机，且特别是涉及一种洗边机的固定装置。

背景技术

在半导体技术里，一般会在晶片上形成多层的膜层。以镀层为例，如果要在晶片上形成铜层，会先以化学电镀(无电电镀)法在晶片上全面形成一层铜层作为种子层(seed layer)，再利用电镀法(有电电镀)，以种子层为基础镀上铜。此时，因为晶片边缘作为有电电镀的通电路径，例如需连接至电极，所以边缘的种子层不会往上长，因而在电镀完成时，会在晶片上的边缘留下一圈较低的种子层。为了去除晶片的边缘部分的膜层，在半导体领域里发展出了洗边机(Edge bevel Removal machine，EBR machine)。

洗边机的动作一般是由旋转(spin)、冲洗(rinse)和干燥(dry)三种动作组合而成，所以也称为旋转冲洗干燥机(spin rinse dry machine，SRD machine)。其动作为：在旋转晶片的同时，朝晶片的中心喷纯水，而朝晶片的边缘喷溶液，这个溶液包含了可以冲蚀边缘膜层的化学物质，由此，晶片中心受到纯水的保护，只有晶片边缘的膜层被冲蚀掉。

洗边机中的固定装置需要在晶片旋转时固定住晶片，因而与晶片接触的部分属于易磨损的部分，常有更换的必要。

又，因为常需要更换固定装置中的磨损部分，还需要注意零件在多次的拆装固定装置之后，仍需符合一定的精度要求。

实用新型内容

有鉴于对上述洗边机的固定装置的要求，本实用新型的目的就是在于提供一种洗边机的固定装置，适用于与洗边机的旋转臂相连接，固定装置包括：以卡榫连接方式连接至旋转臂的第一固定部，及枢接至旋转臂且具有可上下回动自由度的第二固定部。第一固定部包括载台部、支撑部以及阻挡部。支撑部固定于载台部上，阻挡部与载台部相连并高于支撑部。第二固定部，包括第一夹持部及第二夹持部，第一夹持部与第二夹持部以卡榫连接的方式相固定，且由第一夹持部枢接至旋转臂。当旋转臂旋转至一预定速度时，第二固定部的第二夹持部适于向上回动而夹持待洗物体，而当旋转臂未旋转至预定速度时，第一固定部的阻挡部适用于挡止待洗物体。

上述第一固定部的支撑部可以点接触的方式接触待洗物体。第一固定部的支撑部的材质可为耐磨耗材质。阻挡部的材质可为耐磨耗材质。上述载台部、支撑部、阻挡部可为一体成形。

上述第一固定部和旋转臂的卡榫连接方式，例如使旋转臂与第一固定部之一具有第一滑槽，且旋转臂与第一固定部之另一具有与第一滑槽对应的第一凸部。也可再包括第一螺栓固定旋转臂与第一固定部。第一滑槽供旋转臂或第一固定部滑入，并通过锁入第一螺栓固定旋转臂与第一固定部，且第一滑槽的滑入的方向、锁入第一螺栓的方向不受到第二固定部的干扰。

上述第二固定部中的第一夹持部、第二夹持部的卡榫连接方式，例如第一夹持部与第二夹持部之一具有第二滑槽，且使第一夹持部与第二夹持部之另一具有与第二滑槽对应的第二凸部。也可再包括第二螺栓固定第一夹持部与第二夹持部。第二滑槽供第一夹持部或第二夹持部滑入，并通过锁入第二螺栓固定第一夹持部与第二夹持部，且第二滑槽的滑入的方向、锁入第二螺栓的方向不受到第一固定部的干扰。

根据本实用新型的特征，第一固定部是以卡榫方式连接至旋转臂，安装及拆卸方便。

根据本实用新型的特征，第二固定部中负责和旋转臂枢接的部分(第一夹持部)，以及负责夹持待洗物体的部分(第二夹持部)被分成两个元件再组合固定，是以，更换第二夹持部时，不需拆卸第一夹持部，不会影响到枢接精度，也不会因多次拆装抠接的第一夹持部而无故地磨耗了枢接的元件(例如销)。又，第一夹持部和第二夹持部是以卡榫连接方式相固定，安装及拆卸方便。

根据本实用新型的特征，第一部固定部和旋转臂的固定方向、固定方式不会受到枢接于旋转臂上的第二固定部的干扰。因而损耗频率不同的第一固定部和第二固定可各自独立拆装，减少维修时间。

根据本实用新型的特征，支撑部是以点接触的式接触到待洗物体，所以可以减少待洗物体和支撑部的磨擦力。

根据本实用新型的特征，使支撑部和阻挡部采用耐磨耗材质，可以减少更换的频率。

更，本实用新型的目的在提供一种洗边机，包括：旋转底座、多个旋转臂及上述的固定装置。旋转臂的一端是以卡榫连接的方式，等间隔地固定至旋转底座。其中旋转臂的另一端以卡榫方式连接着第一固定部，且枢接着第二固定部。

在旋转底座与旋转臂之一还可具有第三滑槽，且旋转座与旋转臂之另一具有与第三滑槽对应的第三凸部。更可包括第三螺栓固定旋转底座与旋转臂。