[实用新型]磁路机构及具有该磁路机构的磁控溅射阴极

权利要求书

1.一种磁路机构，包括：轭铁、极靴、外圈永磁体、中心冷却杆及底座，所述中心冷却杆连接于所述底座中央，且所述外圈永磁体等径向分布于所述中心冷却杆四周，所述轭铁一端与所述底座连接，另一端与所述外圈永磁体连接，所述外圈永磁体连接于所述极靴与所述轭铁之间，所述轭铁及极靴为负极，所述中心冷却杆及底座为正极，其特征在于：还包括偏置永磁体组，所述偏置永磁体组包括内圈永磁体、中圈永磁体、及驱动机构，所述内圈永磁体呈中心偏置分布于中心冷却杆四周，所述中圈永磁体呈中心偏置于中心冷却杆四周，且所述中圈永磁体位于所述外圈永磁体及其内圈永磁体之间，所述驱动机构与所述底座连接，所述驱动机构分别独立驱动所述内圈永磁体及中圈永磁体绕所述中心冷却杆旋转。

2.如权利要求1所述的磁路机构，其特征在于：所述驱动机构包括内圈驱动机构及中圈驱动机构，所述内圈驱动机构包括内圈齿轮电机、内圈轴承、内圈齿轮及内圈安装板，所述内圈齿轮电机与所述内圈齿轮啮合，所述内圈轴承一端与所述内圈齿轮枢接，另一端与所述中心冷却杆连接，所述内圈安装板一端与所述内圈齿轮连接，另一端与所述内圈永磁体连接。

3.如权利要求2所述的磁路机构，其特征在于：所述中圈驱动机构包括中圈齿轮电机、中圈齿轮及中圈安装板，所述中圈齿轮为内齿轮，所述中圈齿轮电机与所述中圈齿轮啮合，所述中圈齿轮与所述内圈齿轮枢接所述，所述中圈安装板一端与所述中圈齿轮连接，另一端与所述中圈永磁体连接。

4.如权利要求3所述的磁路机构，其特征在于：所述中圈安装板两端分别与所述轭铁及所述内圈安装板之间具有一较小间隙。

5.如权利要求1所述的磁路机构，其特征在于：所述内圈永磁体及中圈永磁体呈圆形或椭圆形呈中心偏置分布于中心冷却杆四周。

6.如权利要求1所述的磁路机构，其特征在于：所述底座为中空结构。

7.如权利要1所述的磁路机构，其特征在于：所述内圈永磁体高于所述中圈永磁体。

8.一种磁控溅射阴极，适于安装在真空镀膜装置中的真空腔上，所述磁控溅射阴极包括磁路机构、冷却机构、密封机构及绝缘机构，所述磁路机构包括轭铁、极靴、外圈永磁体、中心冷却杆及底座，所述中心冷却杆连接于所述底座中央，且所述外圈永磁体等径向分布于所述中心冷却杆四周，所述轭铁一端与所述底座连接，另一端与所述外圈永磁体连接，所述外圈永磁体连接于所述极靴与所述轭铁之间，所述轭铁及极靴为负极，所述中心冷却杆及底座为正极，所述冷却机构位于所述中心冷却杆与轭铁之间，所述冷却机构对所述磁路机构降温，所述密封机构位于所述磁路机构与所述冷却机构之间，所述密封机构使所述冷却机构与所述磁路机构相互密闭，所述绝缘机构对所述磁路机构中的正、负极绝缘，其特征在于：还包括偏置永磁体组，所述偏置永磁体组包括内圈永磁体、中圈永磁体、及驱动机构，所述内圈永磁体呈中心偏置分布于中心冷却杆四周，所述中圈永磁体呈中心偏置于中心冷却杆四周，且所述中圈永磁体位于所述外圈永磁体及其内圈永磁体之间，所述驱动机构与所述底座连接，所述驱动机构分别独立驱动所述内圈永磁体及中圈永磁体绕所述中心冷却杆旋转。

9.如权利要求8所述的磁控溅射阴极，其特征在于：所述驱动机构包括内圈驱动机构及中圈驱动机构，所述内圈驱动机构包括内圈齿轮电机、内圈轴承、内圈齿轮及内圈安装板，所述内圈齿轮电机与所述内圈齿轮啮合，所述内圈轴承一端与所述内圈齿轮枢接，另一端与所述中心冷却杆连接，所述内圈安装板一端与所述内圈齿轮连接，另一端与所述内圈永磁体连接。

10.如权利要求9所述的磁控溅射阴极，其特征在于：所述中圈驱动机构包括中圈齿轮电机、中圈齿轮及中圈安装板，所述中圈齿轮为内齿轮，所述中圈齿轮电机与所述中圈齿轮啮合，所述中圈齿轮与所述内圈齿轮枢接所述，所述中圈安装板一端与所述中圈齿轮连接，另一端与所述中圈永磁体连接。

11.如权利要求10所述的磁控溅射阴极，其特征在于：所述中圈安装板两端分别与所述轭铁及所述内圈安装板之间具有一较小间隙。

12.如权利要求8所述的磁控溅射阴极，其特征在于：所述内圈永磁体及中圈永磁体呈圆形或椭圆形呈中心偏置分布于中心冷却杆四周。

13.如权利要求8所述的磁控溅射阴极，其特征在于：所述底座为中空结构。