[实用新型]晶圆盒的转动开关装置

说明书

技术领域

本实用新型是涉及一种晶圆盒的转动开关装置，特别是涉及一种通过可转动的抵接轴套与一闩锁板相抵接，以减少因刮削及磨擦而产生微粒污染的晶圆盒的转动开关装置。

背景技术

为避免晶圆在运送过程中受到污染及碰撞，一般会利用一可运送及可密封的晶圆盒来放置及运送晶圆。举例而言，中国台湾专利公告第151739号揭示一种具有改良闩机构的可密封、可运送容器，其具有一盒子及一盒门。盒子有一第一密封表面，而盒门有一第二密封表面，当盒门以一对着盒子的密封方向移动时，第二密封表面与第一密封表面共同组成一密封。盒门中备有一闩机构，可两段式操作。闩组件自一缩回位置移到一延伸位置是第一阶段的运作；在缩回位置中，闩组件包容在盒门中以便让盒门对着盒子移动，而在延伸位置中，闩组件邻近盒子的闩锁表面。自缩回位置移到延伸位置动作的完成，在闩组件和闩锁表面之间并未有接触，以避免任何会盒子内部的干净区域中产生微粒(particle)的刮削或摩擦动作。第二阶段的运作包括闩组件囓合闩锁表面而使盒门依密封方向移动；第二阶段动作的完成在闩组件和闩锁表面之间也没有刮削或摩擦动作。

综上所述，所述具有改良闩机构的可密封、可运送容器通过一种双向移动的闩机构来使所述容器达到密封的状态，并且此闩机构双向移动时不会与盒子或盒子内侧的干净区域中的盒门刮削或摩擦式接触，因此能避免盒子内部的干净区域中产生微粒的污染。所述闩机构的运作，是由所述闩机构中的凸轮机构的二凸轮突部分别与二闩锁板的弧形部份囓合，并通过所述凸轮机构的旋转使凸轮突部推抵所述二闩锁板的弧形部份，以使所述闩组件延伸或缩回。

请参考图1所示，其揭示一种现有的转动开关装置91，其包含一旋转盘911、一轴孔912、二抵接凸轮913、二驱动销孔914、二凸台915及二挡止部916。所述转动开关装置91枢设于一晶圆盒的盒座底板92内，其下方设有一驱动件93。所述驱动件93设有二对称的驱动插销931，其位置与所述二驱动销孔914对应，所述二驱动插销931分别穿过所述盒座底部92的弧形孔921而与所述转动开关装置91的二驱动销孔914结合，以驱动所述转动开关装置91做一限定角度的转动，从而控制所述晶圆盒内的闩机构(未绘示)开启或闭合。

然而，当所述转动开关装置91转动时，所述二抵接凸轮913的抵接面913a会相对于所述转动开关装置91的中心点转动，然而所述抵接面913a与闩机构(未绘示)的接触摩擦为一不同步移动的表面摩擦过程，并且现有的转动开关装置91大多由塑料材质制成，而与金属材质的闩机构仍有因为刮削或摩擦而产生微粒的情形，从而造成晶圆盒的污染。另外，所述二抵接凸轮913也可能因为长时间的使用而发生断裂的情形。

因此，有必要提供一种晶圆盒的转动开关装置，以解决现有技术所存在的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆盒的转动开关装置，其是利用可自由转动的抵接轴套，以便消除所述转动开关装置与一闩锁板间的刮削或摩擦，从而减少微粒产生而污染晶圆盒的情形。

本实用新型的另一目的在于提供一种晶圆盒的转动开关装置，其是利用金属材质的支撑轴与抵接轴套，提高所述转动开关装置的结构强度及耐磨程度。

本实用新型的又一目的在于提供一种晶圆盒的转动开关装置，其是利用一盖板与枢接孔及支撑轴对应连结，以使所述转动开关装置整体结构更为稳固。

为达上述的目的，本实用新型提供一种晶圆盒的转动开关装置，其设于一晶圆盒内的盒座内，其包含一旋转盘、一枢接部、二支撑轴、二抵接轴套及一盖板。所述旋转盘利用所述枢接部枢接于所述晶圆盒的盒座内。所述支撑轴对称的设于所述旋转盘上，所述抵接轴套可转动的套设于所述二支撑轴上，所述二抵接轴套用以抵接所述晶圆盒内的二闩锁板。所述盖板结合于所述枢接部及支撑轴上，使所述抵接轴套可转动的位于所述盖板及旋转盘的底面之间。所述旋转盘可受一驱动机构的驱动而转动，以控制所述闩锁板的开关。藉此，可增加所述转动开关装置的强度，并减少抵接于所述闩锁板时产生的微粒，避免污染所述晶圆盒。

相较于现有技术，本实用新型通过可转动的抵接轴套与一闩锁板相抵接，其确实可以减少因刮削及磨擦而产生微粒污染晶圆盒的情形，并提高转动开关装置的结构强度及耐磨程度。

附图说明

图1：现有的晶圆盒的转动开关装置的立体图。

图2：本实用新型较佳实施例的晶圆盒的转动开关装置的立体分解图。

图3：本实用新型较佳实施例的晶圆盒的转动开关装置的第一位置的俯视图。