[实用新型]一种采用叶盘转子的小型分子泵

权利要求书

1.一种小型分子泵，其中在转子顶面向下加工出垂直顶面的动叶片，动叶片跟直径方向成一定角度，这种转子称为叶盘转子，叶盘转子上方与之搭配的零件是顶盖静叶盘，顶盖静叶盘通过泵壳支撑在转子上面，顶盖静叶盘的下半部分为静叶片，静叶片与直径方向成一定角度，静叶片与动叶片存在装配关系：静叶片从自上而下插在动叶片的径向间隔中间，动静叶片之间没有相互接触，在直径方向上交叉存在，通过调节泵壳的高度来调整静叶片插入动叶片的深度。

2.根据权利要求1中的小型分子泵，其中动叶片的级数为1～3级，静叶片比动叶片少一级。

3.根据权利要求1中的小型分子泵，其中动、静叶片与直径方向的夹角均为0°～90°。

4.根据权利要求1中的小型分子泵，其中叶片从内向外后一级叶片数不少于前一级叶片的叶片数。

5.根据权利要求4中的小型分子泵，其中最后一级动叶片的前半部分在顶面上，后半部分为悬臂结构。

6.根据权利要求5中的小型分子泵，最后一级动叶片悬臂结构后半部分叶片高度与前半部分叶片高度的比值介于1/1～3/1之间。