[实用新型]一种焦点区域光强分布调节装置

权利要求书

1、一种焦点区域光强分布调节装置，由线偏振激光光源、激光扩束整形器件、偏振分光镜、四分之一波片、反射式空间光调制器、空间光调制控制器和聚焦物镜组成，其中，所述的激光扩束整形器件、偏振分光镜、四分之一波片和反射式空间光调制器依次设置在线偏振激光光源出射光束的前进方向上，四分之一波片的光轴方向与线偏振激光光源出射光束线偏振方向成45度角，聚焦物镜置于偏振分光镜的调制光出射光路上，空间光调制控制器与反射式空间光调制器连接，其特征是：反射式空间光调制器为反射式液晶空间光调制器、反射式微纳光栅结构空间光调制器的一种。

2、根据权利要求1所述的焦点区域光强分布调节装置，其特征是：所述的线偏振激光光源为气体激光器、固体激光器、染料激光器、自由电子激光器、半导体激光器中的一种。

3、根据权利要求1所述的焦点区域光强分布调节装置，其特征是：所述的激光扩束整形器件为变倍率扩束整形器件。

4、根据权利要求1所述的焦点区域光强分布调节装置，其特征是：所述的聚焦物镜为平场消色差物镜、平场复消色差物镜中的一种。

5、根据权利要求1所述的焦点区域光强分布调节装置，其特征是：所述的反射式空间光调制器为反射式液晶空间光调制器、反射式微纳光栅结构空间光调制器中的一种。