[实用新型]硅晶体生长设备的尾气导走装置无效
| 申请号： | 200820162766.X | 申请日： | 2008-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN201241193Y | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 李乔;马远 | 申请（专利权）人： | 浙江碧晶科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;B08B15/04 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 312300浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶体生长 设备 尾气 装置 | ||
1、一种硅晶体生长设备的尾气导走装置，包括入口端并联接入硅晶体生长炉的尾气出口的真空管路系统(3)和尾气处理管路系统(4)，真空管路系统(3)的出口端和尾气处理管路系统(4)的出口端均接入喷淋系统(5)；
所述的真空管路系统(3)从入口端至出口端依次包括通过管路连接的除尘筒(7)、真空泵(8)和油烟净化器(9)；
所述的尾气处理管路系统(4)从入口端至出口端依次包括通过管路连接的除尘器(10)和风机(12)。
2、如权利要求1所述的尾气导走装置，其特征在于：所述的真空管路系统(3)的入口端与硅晶体生长炉的尾气出口之间设有管路阀门(2)。
3、如权利要求1所述的尾气导走装置，其特征在于：所述的尾气处理管路系统(4)的入口端与硅晶体生长炉的尾气出口之间设有管路阀门(1)。
4、如权利要求3所述的尾气导走装置，其特征在于：所述的管路阀门(1)和吸尘器(10)之间的管路上设有若干个吸尘管(11)。
5、如权利要求4所述的尾气导走装置，其特征在于：所述的吸尘管(11)的入口处设有管路阀门。
6、如权利要求1所述的尾气导走装置，其特征在于：所述的喷淋系统由一个或多个通过串/并联的喷淋塔组成。
7、如权利要求1所述的尾气导走装置，其特征在于：所述的除尘筒(7)为内部放置金属过滤网的金属容器。
8、如权利要求1所述的尾气导走装置，其特征在于：所述的油烟净化器(9)为静电吸附净化器。
9、如权利要求1所述的尾气导走装置，其特征在于：所述的除尘器(10)为布袋除尘器。
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