[实用新型]直拉单晶炉用石墨坩埚有效

专利信息
申请号: 200820156013.8 申请日: 2008-11-27
公开(公告)号: CN201317827Y 公开(公告)日: 2009-09-30
发明(设计)人: 施美生;戴士隽 申请(专利权)人: 上海九晶电子材料股份有限公司
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10
代理公司: 上海天翔知识产权代理有限公司 代理人: 陈学雯
地址: 201617*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 直拉单晶炉用 石墨 坩埚
【权利要求书】:

1、一种直拉单晶炉用石墨坩埚,包括石墨坩埚本体,所述石墨坩埚本体包括三瓣块体,石墨坩埚内壁的三瓣块体的接口处的弯曲部为“R”部,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁位于三瓣块体的接口处“R”部的位置覆盖有石墨纸。

2、根据权利要求1所述的直拉单晶炉用石墨坩埚,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁的石墨纸的面积大于接口处的“R”部的面积。

3、根据权利要求2所述的直拉单晶炉用石墨坩埚,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁的石墨纸的厚度为0.3-0.5mm。

4、根据权利要求2所述的直拉单晶炉用石墨坩埚,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁的石墨纸裁剪成长方形。

5、根据权利要求4所述的直拉单晶炉用石墨坩埚,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁的石墨纸的宽为25-45mm,长为100-250mm。

6、根据权利要求4所述的直拉单晶炉用石墨坩埚,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁的石墨纸的宽为30-50mm,长为100-250mm。

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