[实用新型]直拉单晶炉用石墨坩埚有效
| 申请号: | 200820156013.8 | 申请日: | 2008-11-27 |
| 公开(公告)号: | CN201317827Y | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
| 发明(设计)人: | 施美生;戴士隽 | 申请(专利权)人: | 上海九晶电子材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
| 代理公司: | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈学雯 |
| 地址: | 201617*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 直拉单晶炉用 石墨 坩埚 | ||
1、一种直拉单晶炉用石墨坩埚,包括石墨坩埚本体,所述石墨坩埚本体包括三瓣块体,石墨坩埚内壁的三瓣块体的接口处的弯曲部为“R”部,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁位于三瓣块体的接口处“R”部的位置覆盖有石墨纸。
2、根据权利要求1所述的直拉单晶炉用石墨坩埚,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁的石墨纸的面积大于接口处的“R”部的面积。
3、根据权利要求2所述的直拉单晶炉用石墨坩埚,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁的石墨纸的厚度为0.3-0.5mm。
4、根据权利要求2所述的直拉单晶炉用石墨坩埚,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁的石墨纸裁剪成长方形。
5、根据权利要求4所述的直拉单晶炉用石墨坩埚,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁的石墨纸的宽为25-45mm,长为100-250mm。
6、根据权利要求4所述的直拉单晶炉用石墨坩埚,其特征在于:所述石墨坩埚本体内壁的石墨纸的宽为30-50mm,长为100-250mm。
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