[实用新型]光学元件透射光谱自动面扫描测量装置无效
| 申请号: | 200820155743.6 | 申请日: | 2008-11-21 |
| 公开(公告)号: | CN201322684Y | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
| 发明(设计)人: | 朱美萍;范正修;易葵 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01J3/28 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
| 地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光学 元件 透射 光谱 自动 扫描 测量 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及光谱测量,特别是一种能够测量大尺寸光学元件的光学元件透射光谱自动面扫描测量装置。
背景技术
分光光度计是光学元件光谱特性测量最常见的测量仪器,它可以测量光学元件的反射率、透射率、吸收等光谱特性。
现有的分光光度计的光路图如图1所示,光源04由卤素灯01、氘灯03和第一半透半反镜02构成,第一半透半反镜02的旋转轴与主光路成22.5°,氘灯03的光轴与第一半透半反镜02的旋转轴成22.5°;光源04发出的光经单色系统07后成为单色光,单色光经第二半透半反镜09后分成透射光束和反射光束,水平的透射光束用作测量光束,反射光束用作参考光束,样品10竖直地置于测量光路中。像一些大型光学系统中使用的光学元件,由于元件尺寸和质量都较大,现有分光光度计的样品室无法放置,并且如果元件竖直放置,不能保证测量元件的安全,所以,现有的分光光度计不能满足大尺寸光学元件光谱测量的需要。另外,现有分光光度计只能进行光学元件的单点的光谱测量,不能对光学元件进行二维自动面扫描测量。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题在于克服上述现有技术的不足,提供一种光学元件透射光谱自动面扫描测量装置,该装置能测量大尺寸光学元件透射光谱,并且对大尺寸光学元件自动进行二维面扫描透射光谱测量。
本实用新型的解决方案如下:
一种光学元件透射光谱自动面扫描测量装置,其构成包括光源、光阑、第一会聚镜、单色系统、准直透镜组和第二半透半反镜、参考光路、测量光路、第三半透半反镜、第二会聚镜、待测样品、信号接收系统和计算机,其特点在于:
所述的测量光路由第二半透半反镜反射的竖直光路和依次设置的待测样品、第一反射镜、第三半透半反镜和第二会聚镜构成;所述的待测样品置于样品台上,该样品台由样品架、燕尾式滑动导轨和二维电动平移台构成,所述的待测样品水平地放置在所述的样品台的样品架上,所述的待测样品随着二维电动平移台进行二维移动;
所述的参考光路由通过所述的第二半透半反镜的水平光路和依次设置的第二反射镜、第三半透半反镜和第二会聚镜构成;
所述的计算机的输入端接所述的信号接收系统的输出端,该计算机具有控制软件,该计算机通过信号线分别与所述的第一半透半反镜、第二半透半反镜、第三半透半反镜、单色系统和二维电动平移台相连,所述的计算机通过控制软件控制所述的第一半透半反镜、第二半透半反镜、第三半透半反镜、单色系统和二维电动平移台的运动。
所述的光源由卤素灯、第一半透半反镜和氘灯构成,在一条直线上的所述的卤素灯、第一半透半反镜、光阑、第一会聚镜、单色系统、准直透镜组和第二半透半反镜构成主光路,所述的第一半透半反镜的旋转轴与所述的主光路成22.5°,所述的氘灯的光轴与所述的第一半透半反镜的旋转轴成22.5°。
所述的第一半透半反镜、第二半透半反镜、第三半透半反镜都是一绕其垂直的旋转轴旋转的圆片,该圆片的一半为通光孔,另一半是反光的半圆片。
所述的信号接收系统由光电倍增管和A/D转换器构成。
本实用新型的技术效果:
①本实用新型所述的待测样品水平地放置在所述的样品台的样品架上,因此可以测量大尺寸光学元件的透射光谱,与传统的分光光度计相比,最大被测元件尺寸大大增加;
②本实用新型采用二维电动平移台,利用控制软件实现了光学元件的透射光谱的自动面扫描测量,测量过程中无需人工介入。
③本实用新型将待测大尺寸元件水平放置,确保待测元件的安全性。
④本实用新型的计算机在Win9x/NT/XP操作系统下全自动控制本实用新型装置自动运行,命令输入操作方便。
本实用新型实现了大尺寸光学元件的透射光谱测量,可测量的光学元件的最大尺寸为400mm×600mm;利用计算机的控制软件的控制实现了光学元件的自动面扫描测量。
附图说明
图1是现有分光光度计的原理图和主光路图
图2是本实用新型光学元件透射光谱自动面扫描测量装置的结构示意图
图3是本实用新型中半透半反镜的平面结构图
图4是本实用新型中控制软件的流程图
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明,但不应以此限制本实用新型的保护范围。
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