[实用新型]安全联锁装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及安全联锁装置，特别涉及气体钢瓶的安全联锁装置。

背景技术

气体的使用在半导体工艺生产中一直扮演着重要的角色，其中离子注入、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，气体一般可简单的区分为大宗气体，如氮气、氢气、氧气等使用量较大的气体，和特殊气体，如氯气，氯化氢，磷烷等数十种有毒的工艺气体。在这些特殊气体输送和供给半导体芯片生产机台使用的过程中需要大量的气体钢瓶。气体钢瓶所承载的气体具有毒性、腐蚀性、或自然性等特性，而气体供应的安全性则关系到人员的生命与健康以及厂房、设备运作的安全。

请参考图1，其为现有技术的气体钢瓶接合于生产机台的示意图。如图所示，气体钢瓶10包括：钢瓶主体11、钢瓶接口锁母12以及出气导管13，其中，钢瓶主体11储存生产机台需要使用的气体。出气导管13通过气动阀22与进气导管21连通，组成气体输送管路。进气导管21的另一端固定并连通于生产机台20。气体输送管路上设置一压力传感器(未图示)，可以侦测出气体钢瓶10的气体压力，通过可编程序控制器(PLC)(未图示)控制气动阀22的开关。若气体钢瓶10处于供气状态，供给气动阀22开启，则气体可经由出气导管13与进气导管21输送至生产机台20供其使用。若气体钢瓶10处于用空状态，供给气动阀22自动关闭。

因为气体是半导体工艺生产中的耗材，所以使用一段时间后需要更换气体钢瓶，其程序包括拆卸用空的气体钢瓶，并安装新的气体钢瓶。在拆卸用空的气体钢瓶时常易发生人为疏忽，如错误地将使用中的钢瓶接口拆开，则会造成供气中断，且钢瓶内的残余气体将外泄而可能造成操作人员的伤害或火灾等公共危险。在实际生产过程中，目前仅仅依靠对操作人员思想上的宣导来预防这类危险的发生，还没有防止拆错气体钢瓶的技术装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种安全联锁装置，确保当气体钢瓶处在供气状态时，不能进行拆卸气体钢瓶的动作，从而避免发生现有技术中将处于供气状态的气体钢瓶的接口锁母打开，而导致的供气中断，以及人身伤害或火灾等重大事故的发生。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种安全联锁装置。该安全联锁装置，用于气体钢瓶，所述气体钢瓶通过钢瓶接口锁母实现拆装，所述气体钢瓶具有一供气状态和一用空状态，包括：锁母防护套，与上述钢瓶接口锁母相匹配；以及气缸，与上述锁母防护套连接；其中，当气体钢瓶处在供气状态时，上述气缸推动上述锁母防护套移动，套在钢瓶接口锁母上，当钢瓶处在用空状态时，上述气缸带动上述锁母防护套退回原位，脱离钢瓶接口锁母。

可选的，上述气缸包括：气缸套；活塞，设置于上述气缸套内并可沿气缸套内壁滑动；活塞杆，其一端连接于上述活塞，另一端连接于上述锁母防护套；前端盖和后端盖，分别位于上述气缸套的两端；以及弹簧，一端与上述活塞连接，另一端抵住上述前端盖。其中上述气缸还具有进气口，连接至一供给气源，上述进气口与上述供给气源通过气源三通接头连通，上述气源三通接头与上述进气口的连接方式是通过螺纹连接。

可选的，上述气缸还包括密封压盖，位于上述气缸套内，与上述前端盖相连接，起密封作用。

可选的，上述安全联锁装置还包括：导向杆，一端连接于上述气缸外侧，另一端与上述锁母防护套相连接，用以引导上述锁母防护套的运动。

可选的，上述锁母防护套为“U”型，“U”形开口与钢瓶接口锁母大小相匹配。

可选的，上述锁母防护套与上述导向杆的连接件为导向杆锁紧螺母，上述活塞杆与上述锁母防护套的连接件为圆锥销钉。

综上所述，本实用新型的安全联锁装置，当气体钢瓶处于供气状态时，上述锁母防护套在上述气缸的推动作用下套在钢瓶接口锁母上，拆卸钢瓶的专用搬子无法套在钢瓶接口锁母上，故不能进行拆卸钢瓶的动作。当钢瓶处在用空状态时，上述气缸失去气动压力，在上述气缸的带动作用下，锁母防护套退离钢瓶接口锁母，拆卸气体钢瓶的专用搬子就可以顺利的套在钢瓶接口锁母上，实行对用空状态的气体钢瓶的拆卸更换的操作步骤。从而避免了将处于供气状态的气体钢瓶的接口锁母打开，而导致供气中断，以及人身伤害或火灾等重大事故的发生。

附图说明

图1为现有技术的气体钢瓶接合于生产机台的示意图；

图2A至图2C为本实用新型一实施例所提供的安全联锁装置的三视图；

图3A至图3B为本实用新型一实施例所提供的安全联锁装置的作动示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的安全联锁装置作进一步详细说明。