[实用新型]加湿型过滤器

说明书

技术领域

本实用新型关于一种过滤器，特别是关于一种用于气体侦测的加湿型过滤器。

背景技术

随着科技的进步和普及，半导体器件在生活的各个方面得到了广泛的应用。半导体厂在制造半导体器件的过程中对特种气体的使用占有很重要角色，由于气体本身的物理和化学性质，决定了其可能具有很高的危险性，所以在半导体厂对气体安全有很高的要求，根据气体种类将气体室分为易燃室、毒性室、腐蚀室、氧化室、惰性室等，如果特气泄露，后果将是非常严重的，大量的腐蚀气体，易燃甚至毒性气体泄露到环境中造成人员伤亡，所以每个半导体厂都会有一个气体安全侦测系统(Gas Detector System)。

气体安全侦测系统中气体侦测器一般全部装在气体室内，由于采用分散供气方式，每个气体室内都有十几或几十个气瓶柜，每个设备上都要设一个侦测点。

气体室的液态气体对供应压力和温度有很严格的要求，一般冬天室内需要空调或暖气加热，这就造成室内湿度降低，并且气体室内设备上加装排风也会造成室内湿度降低，而气体侦测器对湿度有一定要求，而且很多气体的检测都是采用电解液的气体侦测器，湿度的降低使电解液消耗得特别快，所以如果环境湿度达不到一定要求，就会导致气体侦测器的侦测灵敏度下降，使用寿命减少等。

例如三氟化氮(NF3)、氟甲烷(CH3F)、六氟化四碳(C4F6)、二氟甲烷(CH2F2)这些气体必须通过高热分解，才能侦测出氟(F2)分子进行判断，当室内湿度降低时，这几种气体通过高温分解后根本达不到气体侦测器侦测的要求，而直接退出监测状态，在此期间如有人员在气体室内工作或进入气体室是非常危险的，可能对人员生命健康造成危害。并且据统计，在湿度10％左右的情况下，需要高热分解的气体侦测器的寿命会减少一半以上，电解液类型的气体侦测器寿命将减少三分之一。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种加湿型过滤器，以改善现有技术中，在干燥环境下进行气体检测时，气体侦测器在干燥空气当中使用寿命较短，灵敏度较低等问题。

本实用新型提供一种用于气体侦测器的加湿型过滤器，包括：壳体；第一进气口，设置于上述壳体一侧，用于将气体导入上述过滤器；第二进气口，设置于上述壳体一侧，用于将湿气入上述过滤器；以及气体导出口，设置于上述壳体另一侧，用于将上述混合的气体和湿气导出上述过滤器。

可选的，上述加湿型过滤器还包括一憎水膜，设置于上述壳体中，用于当上述气体和湿气的混合气体透过上述憎水膜时，除去上述混合气体中多余的水分。

本实用新型还提供一种气体安全侦测系统，该系统包括：加湿型过滤器，气瓶柜、加湿器和气体侦测器。所述的加湿型过滤器，包括：壳体；第一进气口，设置于上述壳体一侧；第二进气口，设置于上述壳体一侧；以及气体导出口，设置于上述壳体另一侧；所述气瓶柜，包括排气管路，与上述第一进气口连通；所述加湿器与上述第二进气口连通；所述气体侦测器，包括气管入口，与上述气体导出口连通。

可选的，上述气体安全侦测系统中的上述加湿型过滤器还包括憎水膜，设置于上述壳体中。

利用本实用新型所提供的加湿型过滤器进行进行气体侦测，由于把空气保持到一定湿度，增加被测气体的湿度，减少了电解质的挥发，进而可以延长气体侦测器的干燥空气当中使用寿命，并保证气体侦测器能在干燥环境中正常运行，提高安全系数。

附图说明

图1所示为本实用新型一实施例所提供的加湿型过滤器的结构示意图；

图2所示为本实用新型一实施例所提供的加湿型过滤器中憎水膜的工作示意图；

图3所示为本实用新型一实施例所提供的气体安全侦测系统示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，给出较佳实施例并结合附图，对本实用新型作进一步说明。

请参见图1，图1所示为本实用新型一实施例所提供的加湿型过滤器的结构示意图，加湿型过滤器100，其结构包括一壳体110，在壳体110上设置有一第一进气口120，该第一进气口120的作用是将待测气体121导入加湿型过滤器100中；在壳体110上还设置有一第二进气口130，该第二进气口130的作用是将湿气131，导入加湿型过滤器100中；在壳体110的底部设置有一气体导出口140，当待测气体121和湿气131充分混合后可以通过气体导出口140导出加湿型过滤器100。