[实用新型]供气控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及供气装置，尤其涉及一种供气控制装置。

背景技术

在晶圆制造厂中，各种设备需要使用各种不同的特种气体，因此传输特殊气体的管道也很多。特殊气体一般通过管道上的气阀控制管道是否导通。如图1所示，通过两个气阀同时控制特殊气体的流通，气阀的开关通过一定气压的气源输入气阀控制，气源输入气阀一和气阀二，气阀一和气阀二同时打开，则特殊气体通过管道从左向右传输。

现有技术的供气控制装置结构如图2所示，包括可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller)模块10、电磁阀20、连通气源90和电磁阀30的导管30、气阀50以及连通气阀和电磁阀的导管40，电磁阀20具有一个以上出气口，20a和20b为其中的两个，电磁阀20和若干个气阀50连通，其中40a为电磁阀的出气口20a与气阀50a连通的导管，40b为电磁阀的出气口20b与气阀50b连通的导管。电磁阀20通过可编程逻辑控制器模块10控制电磁阀20的出气口是否与气源导通。如图2所示，气瓶柜需向某工艺设备供特殊气体时，需要气阀50a和50b导通。通过可编程逻辑控制器模块10控制电磁阀20，使分别与气阀50a和50b连通的出气口20a和20b连通于气源90，从而气阀50a和50b置于“开”状态，实现供气控制。

然而，可编程逻辑控制器模块或者电磁阀失灵时，也或者突发停电导致可编程逻辑控制器模块和电磁阀断电时，图2所示的供气控制装置将失效，不能对气阀20控制。图2所示的供气控制装置在失效时，一般是通过手动控制电磁阀的20a和20b与气源连通。但是这种方法，不能完全保证电磁阀的20a和20b与气源连通，并且很难在短时间内完成。因此这种供气装置，不能在特殊紧急故障情况下保证快速强制供气，这将直接影响特殊气体的稳定供应，并进一步影响工艺设备生产制造的稳定性。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是：在特殊紧急故障情况下，供气控制装置能保证特殊气体快速恢复持续供气。

本实用新型公开的供气控制装置包括电磁阀、控制电磁阀的可编程逻辑控制器模块、连接气源和电磁阀的第一管道、气阀以及连接气阀和电磁阀的第二管道，其特征在于还包括连通所述第一管道和所述第二管道的第三管道以及第三管道之上的手动气阀。

其中，所述第三管道包括连接第一管道的总路部分和连接第二管道的支路部分，所述第三管道的支路部分的数量与第二管道的数量相同。所述手动气阀置于所述第三管道的支路部分上。总路部分和支路部分通过T形快速连接器连接。

另一技术方案中，所述第三管道的数量与第二管道数量相同，并且每条第三管道相互独立，每条第三管道连接各自对应的第二管道和公共的第一管道。

其中，所述第一管道和第三管道之间通过T形快速连接器连接，所述第二管道和第三管道之间通过T形快速连接器连接。

所述电磁阀通过第一管道连接气源，并通过第二管道连接一个或者若干个气阀，电磁阀具有一个或者若干个出气口，一个出气口对应连接一个气阀。所述可编程逻辑控制器模块控制电磁阀，从而控制气阀的导通。

本实用新型的有益效果是：电磁阀以及可编程逻辑控制器模块正常工作情况下，手动气阀关闭，供气控制装置通过电磁阀控制气阀的导通与关闭，从而实现特殊气体输送管道的控制。在电磁阀或可编程逻辑控制器模块失效的紧急情况下，通过手动选择手动气阀的开关，从而选择控制气阀的导通与关闭，等效实现电磁阀控制的功能。因此本实用新型所提供的供气控制装置能在特殊紧急故障情况下能保证快速强制正常供气，并且供气控制装置结构相对简单。

附图说明

图1为现有技术气阀控制示意图；

图2为现有技术供气控制装置示意图；

图3为本实用新型所提供的供气控制装置的一实施例示意图；

图4为本实用新型所提供的供气控制装置的又一实施例示意图；

图5为本实用新型所提供的供气控制装置的又一实施例示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型作进一步的详细描述。