[实用新型]无尘无菌室使用的风机干盘管机组

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种无尘无菌室使用的风机干盘管机组，特别涉及一种利用冰水冷却盘管及风机组成风机干盘管机组，装设在无尘无菌室天花板的空间处，以达到运转风量效率提升及降低工程费。

背景技术

一般传统高科技厂房所装设的无尘无菌室1’，是由图1所示的各部件所构成，其中包括：

(1).风机滤网机组(FFU，Fan Filter Unit)2’，而如图2所示，其机组系由风机2’1及滤网2’2两部件组合而成，主要为气流循环及尘埃过滤功能。

(2).冰水冷却盘管(DCC，Dry Cooling Coil)6’，主要作用在于水对气流(空气)的冷却热交换功能。

(3).隔间板材8’，主要为区域及回风道的区隔用途。

(4).高架地板5’：板面有孔洞，可让气流通过。

(5).天花板铝骨架3：装设在无尘无菌室1’上方适当处。

一般风机滤网机组在无尘无菌室的运作原理说明如下：

(1).风机滤网机组2’吸引经由回风道4’回流至天花板上层的气流，并将其过滤清洁后，吹送进入无尘室内。

(2).该已被风机滤网机组2’清洁的气流，将漂浮于室内的污染粒子(由室内的机器设备、人等产生)，吹引流经高架地板5’的孔洞，带出至无尘室外(高架地板下方)。

(3).含污染粒子的气流，流经高架地板5’的下方空间及回风道4’，并经配置于回风道4’内的冰水冷却盘管6’冷却降温。

(4).该已被冷却降温且含有污染粒子的气流，回流至天花板7’上方空间，再被数个风机滤网机组2’吸引流入，而完成整个无尘无菌室1’气流的清洁降温循环流程。

其中，该循环流程内所配置的风机滤网机组2’，是个组合部件，其是由风机2’1及滤网2’2两部件组合而成，由于滤网2’2有污损更换的功能性需求，因此该产品的尺寸及重量，不宜制造的过大与过重，以利于人员的更换维护，此一原因也导致该组合部件的另一组件，风机2’1的规格尺寸也被限制了，以目前全世界厂家的生产规格而言，此风机滤网机组2’的最大风量均不超过30m3/min(每分钟30立方尺)，更具体的说明；以目前液晶显示器(TFT-LCD)8代厂的无尘室(Clean Room)面积计算，该风机滤网机组2’需配置达20.000台以上，若为12时半导体晶元厂，则至少须配置7500台以上，由于所需配置的数量众多，其产生的不利因素在于：

(1).因配置的数量众多，其所延伸而来的配线、控制、按装、维护保养等工程费用，亦相对的高昂庞大。

(2).因单机的风量少，所以小风扇小马达的运转效率，不如大风扇大马达的运转效率，导致电力能源的浪费。

另外，该气流循环流程内的另一部件冰水冷却盘管6’，该部件配置于回风道4’内，但因回风道4’的设置位置，往往需规避制程设备的动线规划(制程动线的空间规划最优先)，导致回风道4’的设置地点，往往较设计上的理想地点偏移，因此无法立即有效的吸引热气流回流，进行室内热负荷的冷却功能(若设备与回风道距离愈远，则设备所产生的热负荷气流，在室内的滞留流动行程愈久，对其它设备的不良影响也愈大。此也导致室内温度控制的波动，增加温度控制的困难度。

实用新型内容

为克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种易于安装、能减少配置数量、降低工程费用、节约能源的无尘无菌室使用的风机干盘管机组。

为达到上述目的，本实用新型无尘无菌室使用的风机干盘管机组，由一个以上的冰水冷却盘管及一个以上的风机组成一个以上的风机干盘管机组，其中冰水冷却盘管装设在风机的上方，并置于天花板空间适当处；在风机干盘管机组的两侧端面连接软性风管，并往下延伸与滤网相互连结。

特别是，所述的滤网装设于天花板铝骨架上。

特别是，所述风机的横截面的大于滤网的横截面。

特别是，水冷却盘管，平均分散的配置于天花板的上方。

采用上述结构的本实用新型的无尘无菌室改变利用冰水冷却盘管与风机相互装设，使两侧的回风道无装设冰水冷却盘管制程动线未受到限制，其热负荷不会在回风道产生，另改变以软性风管与滤网相互连接，更能增大风机以及扇叶的直径，从而增加进风量，使吸力大幅提升。

附图说明

图1为现有风机滤网机组的无尘无菌室示意图。

图2为现有风机滤网机组的组装图。

图3为本实用新型的风机干盘管机组的无尘无菌室示意图。

图4为本实用新型风机干盘管机组连接滤网的组装图。

具体实施方式