[实用新型]探针研磨装置

权利要求书

1.一种探针研磨装置，用以研磨一探针座上的复数根探针，其特征在于，该探针研磨装置包括：

一基座，具有一底板以及竖立于该底板上的立板，其中该底板上表面具有一研磨片；

一载台，具有一板块以及连接于该板块下端的一固定片，其中该板块设于该立板的一表面且沿该表面升降，而该固定片上设有该探针座；以及

一驱动装置，连结于该板块上端以升降该载台。

2.如权利要求1所述的探针研磨装置，其特征在于，该复数根探针为直立式探针。

3.如权利要求1所述的探针研磨装置，其特征在于，该驱动装置为一扳动杆，其一端连接于该板块上。

4.如权利要求3所述的探针研磨装置，其特征在于，还包含一支撑壁，其一边与该立板上缘连结并向外延伸，且与该底板平行。

5.如权利要求4所述的探针研磨装置，其特征在于，还包含一悬臂，连结于该支撑壁的另一边，且向下延伸与该扳动杆连接。

6.如权利要求5所述的探针研磨装置，其特征在于，该悬臂具有两支杆，该两支杆具有一间距，用以容纳该扳动杆，且该些支杆末端具有孔洞。

7.如权利要求1所述的探针研磨装置，其特征在于，还包含一滑轨，贴合于该立板的一表面上。

8.如权利要求7所述的探针研磨装置，其特征在于，该载台的该板块具有一用以与该滑轨结合的滑套，使该板块可沿着该滑轨升降。

9.如权利要求1所述的探针研磨装置，其特征在于，该固定片包含一板面以及一折曲部，该折曲部通过一第一锁合件将其锁固于该板块下端，该探针座以一第二锁合件将其固定于该板面的下表面。

10.如权利要求1所述的探针研磨装置，其特征在于，该驱动装置为一可驱动该载台升降的电动滑轨组。