[实用新型]一种快拆式内传输框架结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种框架的快拆结构，特别指一种应用于真空溅镀腔体内，传输用框架的快拆式组装结构。

背景技术

真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的一项重要技术，近年来己逐渐取代喷导电漆或电解电镀等方式，大量应用在光电、通信及半导体等产业，成为相当重要的表面处理技术。

请参阅图1所示，一般真空溅镀技术，利用磁控溅镀阴极板11，将离子化的气体分子13以高速轰击激发镀材18，使镀膜分子12均匀散布在真空腔体10内各个角落，再通过电位差高速溅射在被镀物19表面上，进而达到镀膜的目的。

而因应真空溅镀制程应用层面日广，为增加相关镀膜产品的产业竞争力，目前大部分溅镀设备为连续式多腔体型式，以取代传统批次式或晶圆式生产方式。如图2所示，连续式传输作业流程如可概分为进料区、溅镀区及出料区三个区域。每一个区域都至少由一真空腔体10组成，再利用传输机构将被镀物19输送至不同区域的真空腔体10内进行各项程序作业。而一般连续式真空溅镀设备其自动化传输机构皆利用极限开关及摩擦原理来完成不同腔体之间传输顺序。

请再参阅图3，每个腔体分别具有一部伺服马达13带动真空腔体10底部前端的第一个轮轴14，再通过链条17带动后半部的轮轴14，托盘12则置于轮轴14两侧的胶环16上方，通过托盘12与胶环16之间摩擦力的作用下，将托盘12带动至下一个真空腔体10，而能连续进行真空溅镀的各项作业程序。

上述结构中，轮轴14两端枢组固定于两轮轴固定座15之间，而一般轮轴固定座15的长度，对应真空腔体10内的空间大小为一体式的结构。当传输的构件如轮轴14、链条17或轮轴固定座15等对象表面残留有镀膜分子12沉积物时，为维持镀膜高质量要求，溅镀设备必须定时停机保养，拆卸真空腔体10内部零件，刮除其表面镀膜分子12沉积物后，方可重新组合真空腔体10再次使用。

然而，随着溅镀设备机型、款式或应用需求的不同，或为增加结构强度，真空腔体10外层机壳的置入口上方中间适处，会设计一道横板，由于该横板的存在当真空腔体10内部的轮轴14或轮轴固定座15等构件欲取出时，则必须将该腔体外壳折卸后，方能将内部零组件取出，不仅不便且费时费力，而需进一步加以改善。

实用新型内容

为了方便取出溅镀设备的内部零件，本实用新型提供了一种快拆式内传输框架结构，包含用于真空溅镀的框架，

所述框架由若干副框架组成，各副框架相组接的外端各设有一对接板，各对接板上形成有定位部，所述副框架通过相对接的定位部结合为一体。

成型于所述对接板上的定位部为螺纹孔结构，两副框架通过螺丝定位件同时锁设于两相对接的定位部结合。

所述各副框架两侧底边形成有若干螺纹孔，而所述腔体底部对应组接后的框架四角落处则凸设有锁置座，所述框架通过若干定位调整单元分别穿套所述螺纹孔后，再锁设于对应的锁置座处固定。

所述各定位调整单元由一调整螺丝、螺帽及定位螺丝组成，所述调整螺丝内缘呈贯通结构，上端形成有六角孔，螺组于所述框架的螺纹孔处，所述螺帽螺设于作完框架的水平调整后的所述调整螺丝上，而用于固定所述框架的所述定位螺丝由所述螺帽锁固后的所述调整螺丝内缘往外穿出而螺组于所述腔体的锁置座内。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

利用本实用新型框架呈分段式的快拆结构设计，不仅能方便且迅速于该腔体内作组装或拆卸之作业。同时利用该定位调整单元以四点定位锁固方式，更能增加框架水平调整的简便性与稳固性。具有分段快速拆卸及组装的特点，提高了零件维修或清洁效率。

附图说明

图1现有为真空溅镀原理示意图。

图2为现有连续式溅渡作业流程示意图。

图3为现有真空腔体立体分解图。

图4为本实用新型框架的立体分解图。

图5为本实用新型的另一立体分解图。

图6为本实用新型的组合剖视图。

其中，

腔体20         锁置座21

框架30         副框架31、31’

螺纹孔32       对接板33

定位部331      定位调整单元40

调整螺丝41     六角孔411

螺帽42         定位螺丝43

定位件51

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。