[实用新型]一种内传输转轴单元快拆结构有效
申请号: | 200820129480.1 | 申请日: | 2008-08-18 |
公开(公告)号: | CN201272828Y | 公开(公告)日: | 2009-07-15 |
发明(设计)人: | 黎瑞海 | 申请(专利权)人: | 凌嘉科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 许 静 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 传输 转轴 单元 结构 | ||
1.一种内传输转轴单元快拆结构,包含应用于真空溅镀的框架,以及多个枢固于该框架上的转轴单元,其特征在于:
该框架供转轴单元枢固的位置形成多个开放的容置槽,且各该容置槽侧边形成有多个供螺丝穿设的通孔;
转轴单元跨置于该框架的多个呈横向平行的容置槽上,容置槽上除等距套设有多个滚轮外,并在对应各该容置槽的适当位置设有多个轴承座,各该轴承座内缘供设置轴承,外部则形成有对应各该通孔的用于供各该螺丝锁固,以固定该转轴单元的螺孔部。
2.根据权利要求1所述的内传输转轴单元快拆结构,其特征在于,各该容置槽形成于框架上时,其相邻的一外侧边缘另成型有一定位槽,同时各该轴承座相对应的外侧则突设有一凸轴部,转轴单元置设于这些容置槽内时,各该凸轴部容置于对应的定位槽内。
3.根据权利要求1所述的内传输转轴单元快拆结构,其特征在于,该框架及多个转轴单元组设于一腔体内,且该腔体内对应该载盘二侧边的适当位置另设有二导引单元,各该导引单元由二导轮座、多个导轮与枢轴,以及一盖板组成,各该导轮座上形成有多个轮孔,且各该轮孔对应该载盘的内侧剖设一缺口,各该导轮利用枢轴枢组于轮孔内时,导轮的轮面凸出于该缺口,该盖板盖设于该二导轮座上端面。
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