[实用新型]装载基板的运送车

权利要求书

1.一种装载基板的运送车，适于将多个基板运送至一等离子清洁室，用以清洁该些基板的表面，其特征在于，该等离子清洁室具有多个平行排列的电极板，该装载基板的运送车包括：

一框架模块，具有彼此相对的一上框架与一下框架；以及

多个绝缘夹具，配置于该框架模块上，并分别固定于该上框架与该下框架，用以夹持该些基板，并分别电性绝缘于该些基板与该些电极板之间。

2.根据权利要求1所述的装载基板的运送车，其特征在于，其中各该绝缘夹具包括一固定部以及一连接于该固定部的夹持部，该些固定部分别固定于该上框架与该下框架，该些挟持部分别夹持该些基板的相对两侧缘。

3.根据权利要求1所述的装载基板的运送车，其特征在于，其中该框架模块还包括一底板以及多个侧框架，该底板、该上框架与该下框架相互平行，该些侧框架垂直连接该底板、该上框架与该下框架。

4.根据权利要求3所述的装载基板的运送车，其特征在于，其中该些侧框架、该上框架以及该下框架形成一容置空间，用以并排放置该些基板。

5.根据权利要求3所述的装载基板的运送车，其特征在于，还包括至少一驱动轮，设置于该底板上，用以顺利推动该装载基板的运送车。

6.根据权利要求1所述的装载基板的运送车，其特征在于，其中该框架模块的材质为金属。

7.根据权利要求1所述的装载基板的运送车，其特征在于，其中该些绝缘夹具的材质包括陶瓷。