[实用新型]抽真空的气体静压径向轴承

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于真空环境下的气体静压径向轴承。

背景技术

随着现代科学技术的发展和要求的提高，在需要高精度高速的技术领域，在集成电路生产设备、高精度测量、高速运动，滚动轴承难以满足要求。气体轴承润滑介质是气体，无摩擦力的影响，在高精度、高速领域优势明显，应用越来越广阔。

图1为一般的气体静压径向轴承原理：气体静压径向轴承需要外界提供压力气体。压力气体从小孔3喷出，在轴1和轴套2之间的间隙4形成气膜。在消耗压力气体很少的情况下，气膜处形成稳定的压力气流；因气膜边缘和大气相通压强为零，气膜阻力阻挡了压力气流同大气相通，使得气体静压径向轴承气膜保持一定的压强，又由于压力气膜有一定面积，因此拥有了承载能力。

在半导体的制造工艺中，器件的工艺过程都是在真空环境下进行的。一般的气体静压径向轴承的气体会沿间隙进入工艺处理的真空室内。这样严重影响工艺室内的真空度。

发明内容

为了避免气膜中气体进入工艺室，本实用新型公开一种抽真空的气体静压径向轴承。

一种抽真空的气体静压径向轴承包括：轴套上的压缩气体进气孔，大气孔，初级抽气孔，二级的抽气孔和气槽。压缩气体从进气孔进入，在轴和轴承之间的间隙形成压力气膜，压力气膜支撑轴。最终，压力气膜沿两个方向进行流动，一端排向大气，另一端流向大气孔和工艺室，一部分气体从大气孔流出，另一部分将会进入工艺室，为了避免气体进入工艺室，在气体进入工艺室之前对气体进行抽真空，为了使抽气的效果更好，将抽气分两级进行。就阻止了气体对工艺室的真空影响。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步介绍，但不作为对本实用新型专利的限定。

图1是通用气体静压径向轴承原理图。

图2是本实用新型气体静压径向轴承的结构图。

图3是本实用新型轴和气体静压径向轴承的工作截面图。

具体实施方式

在图2中的气体静压径向轴承包括，在轴套11上有进气孔101，大气口104，一级抽气口102，二级抽气口103。气体静压径向轴承工作时，当清洁的压缩气体从进气孔101进入后，在消耗压力气体很少的情况下，气膜处形成稳定的压力气流；因气膜边缘和大气相通压强为零，气膜阻力阻挡了压力气流同大气相通，使得气体静压径向轴承气膜保持一定的压强，又由于压力气膜有一定面积，因此拥有了承载能力。

在图3中一种真空抽气的气体静压径向轴承包括：轴套11上的压缩气体进气孔101，大气孔104和气槽114，初级抽气孔103和气槽114，二级的抽气孔102和和气槽114。压缩气体从进气孔101进入，在轴10和轴套11之间的间隙形成压力气膜，压力气膜支撑轴10。最终，气膜沿方向A和方向B进行流动，沿着B排向大气。另一方向A流向大气孔104和工艺室；一部分气体从大气孔104流出，另一部分将会进入工艺室，为了避免气体进入工艺室，在气体进入工艺室之前对气槽112和气槽113进行抽真空，抽气分两级进行。就避免了气体对工艺室的真空影响。

以上所述已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。