[实用新型]用于直线位移测量的传感器

权利要求书

1、一种用于直线位移测量的传感器，传感器有两部份等分开槽的直线形基体构成绕制线圈的骨架，作为长尺或短尺；其特征在于一基体上绕有激励线圈，另一基体上绕有感应线圈；感应线圈与激励线圈相对运动；激励线圈连接激励电源，激励信号和感应线圈输出的电信号分别连接到放大电路，再经整形电路整形后，由数字比相器进行相位比较；两路信号的相位差由插补的时钟脉冲个数表示，再换算成直线位移值，直接或经微处理器及存储器处理后作直线位移数据显示。

2、一种用于直线位移测量的传感器，传感器有2-3部份等分开槽的直线形基体构成绕制线圈的骨架，作为长尺或短尺；其特征在于对于采用两部分基体的情况，一基体上共同绕有激励线圈和第一感应线圈，另一基体上绕有第二感应线圈；对于采用三部分基体的情况，激励线圈和第一感应线圈分别绕在两个相对位置不动的基体上，第三基体上绕有第一感应线圈，第一感应线圈与激励线圈保持空间位置不变，第二感应线圈与激励线圈相对运动；在这两种情况下，激励线圈连接激励电源，在两组感应线圈上分别获得频率相同而相位固定的和变化的两路电信号，两路输出的电信号分别连接放大电路，再经整形电路整形后，由数字比相器进行相位比较；两路信号的相位差由插补的时钟脉冲个数表示，再换算成直线位移值，直接或经微处理器及存储器处理后作直线位移数据显示。

3、如权利要求1或2所述的用于直线位移测量的传感器，其特征在于感应线圈由1个或多个感应线圈串联或并联组成，线圈位置按空间均布。

4、如权利要求3所述的用于直线位移测量的传感器，其特征在于基体上的等分开槽是用两种不同直径的圆柱体或球体分两层排列而形成，直径大的紧密排列固定成为紧靠基体的一层；直径小的排列固定在两大直径的圆柱体或球体之间的各个槽中，形成另一层，从而自然形成等分的开槽。

5.如权利要求3所述的用于直线位移测量的传感器，其特征在于，在作为长尺的基体上，既具有长尺绕线骨架基准面，又具有供短尺滑动的导程基准面，短尺通过长尺上的导程基准面安装在长尺上，与长尺融为一体，并沿长尺相对滑动。

6.如权利要求3所述的用于直线位移测量的传感器，其特征在于所述存储器中固化有本时栅位移传感器与其它高精度传感器进行比对实验后得到的全程系统误差数据，用于误差修正。