[实用新型]双隔离电容压力差压传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种测量压力的传感器，特别是一种双隔离电容压力差压传感器。

背景技术

一般常用的电容差压/压力传感器均是采用平行板电容器原理，其结构如图3所示，包括左膜座1、右膜座2、测量膜片3、隔离膜片4及焊环5，其中，左膜座1和右膜座2的曲面相对与夹在中间的所述测量膜片3焊接在一起，左膜座1和右膜座2的外端面均焊接有隔离膜片4和焊环5。该传感器的加工工艺流程如下：先将绝缘体(陶瓷体或玻璃体)与金属外壳，在高温下采用陶瓷金属化方法烧结在一起，然后对膜座的基底(绝缘体)进行研磨，加工成所需的曲面，再在此基底上镀金属膜层，之后在此金属膜层上镀绝缘膜层，最后将按上述工艺制成的膜座曲面相对与夹在中间的测量膜片3焊接在一起。由于隔离膜片4和焊环5与左膜座1和右膜座2经氩弧焊焊接在一起，在焊接处产生较大的焊接应力，焊接应力导致焊环5的变形和隔离膜片4的扭曲，必然会通过传动介质(硅油)影响到测量膜片位移，导致测量结果不准确。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于减少隔离膜片焊接处的焊接应力，以提高传感器测量结果的精确性。

为了解决上述问题，本实用新型的技术方案为：一种双隔离电容压力差压传感器，包括左膜座、右膜座、测量膜片、隔离膜片及焊环，其中，左膜座和右膜座的曲面相对与夹在中间的所述测量膜片焊接在一起，所述左膜座和右膜座的外端面设有隔离膜片，该隔离膜片的外侧设置有焊环，在所述左膜座、右膜座的外端面与所述隔离膜片之间还设有垫环，所述焊环、隔离膜片与垫环经滚焊固接在一起后，再经氩弧焊焊接在所述左膜座和右膜座的外端面上。

本实用新型先将焊环、隔离膜片与垫环经滚焊固接在一起，焊接应力小，对隔离膜片的影响微弱，同时，当焊环、隔离膜片与垫环经氩弧焊焊接在左膜座和右膜座的外端面上时，垫环对隔离膜片取到隔离带的作用，可避免焊接应力造成隔离膜片扭曲，有利于增加测量结果的精确性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的组装图；

图3为改进前电容压力差压传感器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例进一步对本实用新型加以说明。

如图1所示，双隔离电容压力差压传感器主要由左膜座1、右膜座2、测量膜片3、隔离膜片4、垫环6及焊环5组成，其中，左膜座1和右膜座2均由金属外壳、玻璃体及金属膜层固接成一体，在金属座和玻璃体的中央设有贯通的硅油腔，硅油腔内装有硅油，金属膜层的内侧与导线8的一端连接，导线8的另一端经金属座上的引线孔穿出。加工时，焊环5、隔离膜片4与垫环6经滚焊固接在一起，后经氩弧焊焊接在所述左膜座1和右膜座2的外端面上；最后将左膜座1和右膜座2的曲面相对与夹在中间的测量膜片3焊接在一起。