[实用新型]夹取高温盖的夹钳

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及半导体领域中的夹钳，尤其涉及一种夹取高温盖的夹钳。

【背景技术】

在半导体制造过程中，CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积)工艺要求连续工位的进出炉操作在一定时间内完成。由于装有较多硅片的碳化硅舟在出CVD炉时温度很高，通常是200～300℃，直接拿取碳化硅舟盖可能造成烫伤，带来安全隐患，而使用高温手套直接接触又会带来玷污，影响最后芯片的质量，若待其冷却至室温后再进行操作，则需要很长时间，违反工艺规定，且效率低下。

【实用新型内容】

本实用新型要解决的技术问题是提供一种夹取高温盖的夹钳，能在高温下完成碳化硅舟盖的夹取操作，既安全可靠，又减少玷污，节约时间。

为了解决上述技术问题，本实用新型夹取高温盖的夹钳，包括两个钳杆，该两个钳杆通过枢轴枢接成一体，该两个钳杆的前端和后端分别为钳臂部和手柄部，所述手柄部包括第一手柄和第二手柄，所述钳臂部包括第一钳臂和第二钳臂。

所述手柄部和钳臂部相互垂直。

所述第一钳臂和第二钳臂的下端分别设有第一钳爪和第二钳爪，该第一钳爪和第二钳爪的形状与被夹取物的边缘结构相适配。

所述枢轴选用螺丝、铆钉或轴销。

所述夹钳为不锈钢材质。

本实用新型夹取高温盖的夹钳，由于手柄与两个钳臂通过枢轴枢接，因此能安全有效地夹取高温的碳化硅舟盖，避免硅片的玷污，节省时间，提高效率。

【附图说明】

图1是本实用新型夹取高温盖的夹钳的一个实施例的结构示意图；

图2是本实用新型夹取高温盖的夹钳的另一个实施例的结构示意图。

【具体实施方式】

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1所示，本实用新型夹取高温盖的夹钳，包括两个钳杆，该两个钳杆通过枢轴7枢接成一体，该两个钳杆的前端和后端分别为钳臂部和手柄部，所述手柄部包括第一手柄1和第二手柄2，所述钳臂部包括第一钳臂3和第二钳臂4。

在本实用新型的一个实施例中(见图1)，所述手柄部和钳臂部相互垂直，通常所述手柄部位于钳臂部的右上方，当使用该结构的夹钳夹取碳化硅舟盖时，能有效防止碳化硅舟中的硅片被玷污，且操作方便。

在本实用新型的另一个实施例中(见图2)，所述夹钳的第一钳臂3和第二钳臂4的下端分别设有第一钳爪5和第二钳爪6，该第一钳爪5和第二钳爪6的形状与被夹取物的边缘结构相适配，从而使夹钳能稳固地夹起被夹取物。CVD工艺中使用的碳化硅舟盖由碳化硅制成，易碎，碳化硅舟盖若没被夹稳掉下来，极容易摔碎。由于碳化硅舟盖两侧边缘靠中间的部位通常设有圆形的凹槽结构，因此，本实用新型夹钳的第一钳爪和第二钳爪的形状优选设计成圆形，以与碳化硅舟盖上的圆形凹槽结构相适配。

本实用新型夹钳的枢轴选用螺丝、铆钉或轴销。

本实用新型夹钳的材料优选为不锈钢材质，更优选抗高温的316不锈钢，使用不锈钢制成的夹钳，能有效防止硅片的玷污。

使用本实用新型夹钳夹取高温的碳化硅舟盖时，只需单手握住第一手柄和第二手柄，并将夹钳的第一钳臂和第二钳臂分别落在碳化硅舟盖的两侧，当第一钳臂和第二钳臂下端的第一钳爪和第二钳爪碰到碳化硅舟盖上的圆形凹槽结构、并与其相适配扣合时，紧握第一手柄和第二手柄，然后稍微用力上抬，即可安稳地夹起碳化硅舟盖。使用本实用新型夹钳，既安全省时、操作简便，又能有效避免夹取碳化硅舟盖过程中给硅片造成玷污。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。