[实用新型]温控腐蚀槽无效
| 申请号: | 200820093343.7 | 申请日: | 2008-04-15 |
| 公开(公告)号: | CN201178093Y | 公开(公告)日: | 2009-01-07 |
| 发明(设计)人: | 钟建国;尚峰 | 申请(专利权)人: | 深圳深爱半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/311 | 分类号: | H01L21/311;H01L21/00;C23F1/08 |
| 代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 郑小粤 |
| 地址: | 518029广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 温控 腐蚀 | ||
1.一种温控腐蚀槽,包括耐酸的槽体,其特征在于,该腐蚀槽包括有换热水管、加热装置,换热水管设于槽体的槽壁上,换热水管上设有进水口、出水口;加热装置上设有加热进水管、加热出水管;所述换热水管的进水口、出水口分别与加热出水管、加热进水管相通。
2.如权利要求1所述温控腐蚀槽,其特征在于,该腐蚀槽还包括由压缩机、节流元件、两个换热器连接形成的换热工质循环回路,该两个换热器中至少有一个为水侧换热器,在水侧换热器的水侧设有换热器进水管、换热器出水管,换热水管的进水口、出水口分别所述换热器出水管、换热器进水管相通。
3.如权利要求2所述温控腐蚀槽,其特征在于,所述换热水管为两个,其上均设有进水口、出水口,且其中一个所述换热水管的进水口、出水口分别与换热器出水管、换热器进水管相通,另一个所述换热水管的进水口、出水口分别与加热出水管、加热进水管相通。
4.如权利要求1至3中任一项所述温控腐蚀槽,其特征在于,所述换热管设于所述槽体的外壁。
5.如权利要求1至3中任一项所述温控腐蚀槽,其特征在于,所述换热管为耐腐蚀管,设于所述槽体的内壁。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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