[实用新型]贴膜定位夹具

权利要求书

1.一种贴膜定位夹具，包括卡环，其特征在于，还包括：

一底座，所述底座上固设有可置于卡环内腔之凸台，所述凸台中心设有基片放置平面，所述底座上设有至少两个可使卡环中心与基片放置平面中心重合的销钉。

2.根据权利要求1所述的一种贴膜定位夹具，其特征在于，所述基片放置平面边上设有隔条，所述隔条高于凸台平面且低于被放置的基片上平面。

3.根据权利要求2所述的一种贴膜定位夹具，其特征在于，所述基片放置平面为矩形，且其中一组相邻的两边设有隔条，或所述基片放置平面其中的三条边设有隔条，或所述基片放置平面四边均设有隔条。

4.根据权利要求1所述的一种贴膜定位夹具，其特征在于，所述基片放置平面凹于凸台平面，且凹陷深度小于被放置基片的厚度。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的一种贴膜定位夹具，其特征在于，所述凸台中心设有两个或四个基片放置平面。

6.根据权利要求5所述的一种贴膜定位夹具，其特征在于，所述凸台为圆形凸台。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的一种贴膜定位夹具，其特征在于，所述卡环上设有与销钉相适配的凹口。

8.根据权利要求7所述的一种贴膜定位夹具，其特征在于，销钉为带有弹簧的销钉。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的一种贴膜定位夹具，其特征在于，所述底座相对的两侧设有高于被放置的基片上平面的拦条。