[实用新型]一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构

说明书

(一)技术领域

本实用新型涉及一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构。

(二)背景技术

在VFD真空镀膜生产线的总体设计中，考虑到成本问题，大多采用了对靶双面镀膜的设备结构，即采用四块磁控溅射阴极靶，左右两两相对，可同时对两侧装载的玻璃基片进行镀膜，设备的生产效率提高一倍。同时在对靶之间要加入活动挡板(对开挡板)，来解决双面镀膜时阴极靶材料相互沉积污染问题。但是，由于真空系统热传导能力差、橡胶件动密封易泄漏的特殊性，以及磁控溅射高温工艺的具体要求，使得一般的挡板机构极易产生传动系统动密封泄漏，无法长时间保证真空镀膜生产线正常的生产和运行。

(三)发明内容

为了克服现有VFD双面真空镀膜设备的挡板机构易产生传动系统动密封泄漏的不足，本实用新型提供一种可达到无泄露效果的VFD双面真空镀膜设备的挡板机构。

本实用新型解决其技术问题的技术方案是：一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构，包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板的上端安装在第一上波纹管上，所述第一挡板的下端安装在第一下波纹管上，所述的第一上波纹管与所述的第一下波纹管对称；所述第二挡板的上端安装在第二上波纹管上，所述第二挡板的下端安装在第二下波纹管上，所述的第二上波纹管与所述的第二下波纹管对称；所述第一上波纹管的头部设有第一上密封头，所述的第一密封上头与所述的第一上波纹管围成第一上密闭腔，所述的第一上密封头具有第一上压缩气体进气管，所述的第一上压缩气体进气管与所述的第一上密闭腔连通；所述第一下波纹管的头部设有第一下密封头，所述的第一密封下头与所述的第一下波纹管围成第一下密闭腔，所述的第一下密封头具有第一下压缩气体进气管，所述的第一下压缩气体进气管与所述的第一下密闭腔连通；所述第二上波纹管的尾部设有第二上密封头，所述的第二上密封头与所述的第二上波纹管围成第二上密闭腔，所述的第二上密封头具有第二上压缩气体进气管，所述的第二上压缩气体进气管与所述的第二上密闭腔连通；所述第二下波纹管的尾部设有第二下密封头，所述的第二下密封头与所述的第二下波纹管围成第二下密闭腔，所述的第二下密封头具有第二下压缩气体进气管，所述的第二下压缩气体进气管与所述的第二下密闭腔连通；还包括第一拉簧、第二拉簧、第三拉簧、第四拉簧，所述第一拉簧的前端和后端均连接在第一上波纹管上，所述第二拉簧的前端和后端均连接在第一下波纹管上，所述第三拉簧的前端和后端均连接在第二上波纹管上，所述第四拉簧的前端和后端均连接在第二下波纹管上。

进一步，所述的第一拉簧位于所述的第一上密闭腔内，所述的第二拉簧位于所述的第一下密闭腔内，所述的第三拉簧位于所述的第二上密闭腔内，所述的第四拉簧位于所述的第二下密闭腔内。

进一步，所述的第一上压缩气体进气管通过第一上密封接头与所述的第一上密封头连接，所述的第一下压缩气体进气管通过第一下密封接头与所述的第一下密封头连接；所述的第二上压缩气体进气管通过第二上密封接头与所述的第二上密封头连接，所述的第二下压缩气体进气管通过第二下密封接头与所述的第二下密封头连接。

使用时，将压缩气体充入第一上密闭腔，使压缩气体的压力大于第一拉簧对第一上波纹管的作用力，因波纹管具有伸缩能力，此时第一上波纹管伸长；将压缩气体通过第一下密闭腔、第二上密闭腔、第二下密闭腔，基于同样的原理，将压缩气体通入第一下密闭腔、第二上密闭腔、第二下密闭腔，第一下波纹管、第二上波纹管、第二下波纹管也伸长，第一上波纹管、第一下波纹管、第二上波纹管、第二下波纹管伸长后使得第一挡板和第二挡板分开。将压缩气体从第一上密闭腔中放出，在第一拉簧的作用力下第一上波纹管缩短；基于同样的原理，将压缩气体从第一下密闭腔、第二上密闭腔、第二下密闭腔中放出，第一下波纹管、第二上波纹管、第二下波纹管也缩短，第一上波纹管、第一下波纹管、第二上波纹管、第二下波纹管缩短后第一挡板和第二挡板又对合关闭。

本实用新型的有益效果在于：由于波纹管具有伸缩能力，因此无需胶圈作为滑动密封，故跟机构可达到无泄露效果。

(四)附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的局部放大图。

(五)具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。