[实用新型]坩埚内加热加热炉料装置无效
申请号: | 200820072692.0 | 申请日: | 2008-11-03 |
公开(公告)号: | CN201289302Y | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
发明(设计)人: | 任兵;刘占国;刘硕 | 申请(专利权)人: | 长春晶科光电有限公司 |
主分类号: | F27B14/14 | 分类号: | F27B14/14 |
代理公司: | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人: | 马守忠 |
地址: | 130012吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 加热 炉料 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及坩埚内加热加热炉料装置。
背景技术
现在,由MgF2或SiO2制备镀膜材料的制备镀膜材料的老式制备装置结构的剖面示意图,如图1所示,其由炉体及保温层15、坩埚6、加热体7和上盖8构成;所述的加热体7置于坩埚6和保温层15的内层之间,上盖8置于炉体及保温层15的上部。所述的加热体7与和坩埚6的外层及保温层15的内层之间要有较大的空隙以免造成连电,加热体7与和坩埚6的外层及保温层15的内层之间均要有20mm以上较大的空隙。其存在的问题是:加热体7对装料坩埚6加热的同时也对保温层15的内层加热,加热炉料的热利用率低,造成热损耗大,浪费能源;由于加热体使用时占用空间大,加热炉料装置的体积也会大,或者,为了保持一定体积就必须把坩埚6的体积缩小,于是就减少装料,也造成制备材料的效率降低。所以每炉只能制备镀膜材料20kg-50kg,恒温耗电功率在3万瓦左右。
发明内容
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了坩埚内加热加热炉料装置。本实用新型的坩埚内加热加热炉料装置可以使用粉末或颗粒状的材料,尤其是用MgF2或SiO2制备镀膜材料。该加热炉料装置构成的结构剖面示意图如图2所示,该装置由保温筒1、坩埚2、加热体3和上盖4和坩埚盖5构成;坩埚2置于保温筒1的里面,所述的坩埚2的底部中间为向内凹进的一个中空的圆柱,该中空的圆柱内置有加热体3,坩埚盖5置于坩埚2上部,上盖4置于保温筒1的上部并与保温筒1紧密接触。
使用时,把原料加入坩埚2里,盖上坩埚盖5,再把上盖4置于保温筒1的上部并与保温筒1紧密接触;通电加温。得到目标材料后取出即可。
有益效果:本实用新型提供的坩埚内加热加热炉料装置,用MgF2或SiO2制备镀膜材料。本实用新型采用坩埚内加热的技术方案,由于加热体几乎只对坩埚加热,热损耗小,热用率高,升温速度快;由于加热体在坩埚的内部,加热体只对坩埚的内层加热,热用率提高了,而且大大降低了加热体所占用的空间,坩埚容量增大了,装料量也增加了。在恒温耗电功率只有3万瓦左右的条件下,每炉制备的镀膜材料达100余kg,产量提高两倍。
附图说明
图1是老式制备装置的结构剖面示意图。
图2是本实用新型提供的坩埚内加热加热炉料装置的结构剖面示意图。其也是摘要附图。
具体实施方式
实施例1
如图2所示,该装置由保温筒1、坩埚2、加热体3和上盖4和坩埚盖5构成;所述的坩埚2置于保温筒1的里面支座13、14上,所述的坩埚2的底部中间为向内凹进的一个中空的圆柱,该中空的圆柱内置有加热体3,所述的坩埚盖5置于坩埚2上,所述的上盖4置于保温筒1的上部并与保温筒1紧密接触。
使用时,把原料加入坩埚2里,盖上坩埚盖5,再把上盖4置于保温筒1的上部并与保温筒1紧密接触;通电加温。得到目标材料后取出即可。
所述的坩埚2的几何尺寸为:φ400mm,高600mm,上盖4的几何尺寸为:φ400mm,加热体3为3相加热体,几何尺寸为:φ90×600mm。
本实用新型采用坩埚内加热的技术方案,由于加热体几乎只对坩埚加热,热损耗小,热用率高,升温速度快;由于加热体在坩埚的内部,大大降低了加热体所占用的炉内空间,坩埚容量可以增大,装料量增加,在恒温耗电功率只有3万瓦左右的条件下,每炉制备镀膜材料达100kg,产量提高两倍。
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