[实用新型]制造液晶显示面板用掩模板

权利要求书

1.一种制造液晶显示面板用掩模板，其特征是：包括多个单元产品掩模图形，用于液晶显示面板制造的光刻工艺，其中所述单元产品掩模图形包括开孔，并且所述开孔的孔边缘形成多个非规则直线图形。

2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征是所述孔边缘的非规则直线图形为三角形、正方形或半圆形的任一种。

3.根据权利要求2所述的掩模板，其特征是所述非规则直线图形的尺寸以及间距小于制造液晶显示面板的曝光机的曝光精度。

4.根据权利要求3所述的掩模板，其特征是所述非规则直线图形的尺寸以及间距小于3μm。

5.根据权利要求3或权利要求4所述的掩模板，其特征是所述非规则直线图形的尺寸为所述三角形底边、所述正方形边长和所述半圆形的直径中的任一个。

6.根据权利要求1所述的掩模板，其特征是所述孔边缘的非规则直线图形为两个或两个以上与所述开孔的各边平行的细线条框。

7.根据权利要求6所述的掩模板，其特征是所述细线条框的宽度，所述细线条框与所述开孔之间的间距，以及所述细线条框之间的间距小于制造液晶显示面板的曝光机的曝光精度。

8.根据权利要求7所述的掩模板，其特征是所述细线条框的宽度，所述细线条框与所述开孔之间的间距，以及所述细线条框之间的间距均小于3μm。