[实用新型]太阳电池扩散工艺用石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳电池制造工艺用的工具，特别涉及一种太阳电池扩散工艺用石英舟。

背景技术

太阳电池作为新兴的清洁可再生能源，因具有直接将太阳能转换为电能，且寿命长、维护简单、可实现无人值守等优势而备受瞩目。太阳能电源系统取得了越来越广泛的应用。

扩散工艺作为晶体硅太阳能电池的生产过程中的关键工序，需要使用一种装置用于装载硅片。该工装由石英制成，称为石英舟，以适合扩散工艺900℃左右的高温。

现有技术晶体硅太阳电池领域所使用的扩散炉多为水平式扩散炉，与之相配套使用的石英舟为水平式石英舟，在水平式石英舟的水平横杆上设有多个竖槽，硅片竖直放置，扩散工艺时一个槽内插入两片硅片，以便在硅片的一面形成PN结。由于扩散炉管的长度有限，在此方式下，存在如下问题：

1、每批次工艺片数有限，现有的设备及工艺方式下，每根炉管每小时产量在200片左右。

2、由于硅片是竖直放置的，所以，在工艺过程中受重力影响，在高温环境下产生大量应力若不能及时释放，易于造成碎片。现有的设备及工艺方式下，扩散工艺碎片率在0.2％左右。

实用新型内容

本实用新型的目的，在于提供一种新型结构的太阳电池扩散工艺用石英舟。

本实用新型的目的是这样实现的：一种太阳电池扩散工艺用石英舟，包括底架、顶架和四根载片杆，四根载片杆竖立设置在底架和顶架之间并围合成矩形，在四根载片杆的多个不同水平面上分别设有用于插入电池片的水平槽。

所述的设置在四根载片杆的多个不同水平面上的水平槽为40个。

采用本实用新型太阳电池扩散工艺用石英舟装载电池片，可提高扩散炉每小时处理电池片的产量，而且减少了碎片率。

附图说明

图1是本实用新型太阳电池扩散工艺用石英舟的立体结构示意图。

具体实施方式

参见图1，本实用新型太阳电池扩散工艺用石英舟，包括底架1、顶架2和四根载片杆3，四根载片杆3竖立设置在底架和顶架之间并围合成矩形，在四根载片杆的40个不同水平面上分别设有用于插入电池片的水平槽(未图示出来)。

本实用新型将石英舟由原先的水平式改为垂直式，从而避免了工艺过程中重力因素造成的碎片。由于石英舟垂直放置，石英舟占的水平面积缩减至原先的二分之一以下，使得一个扩散炉一次工艺可同时放置四个石英舟，使得每根炉管每小时产量可提高到320片电池片(一个石英舟40个水平槽，每槽放两片电池片)。

表1为水平式石英舟在其他工艺不变的情况下，得到的200片电池片的电性能数据的平均值；以及通过工艺改进后，垂直式石英舟在其他工艺不变的情况下，得到的300片电池片的电性能数据的平均值。

表1

  石英舟 Voc(mV)  Isc(mA) Rs(mΩ) Rsh(Ω)  FF  Eff  水平式 622  5.114 5.386 32.47  77.32％  16.62％  垂直式 621  5.138 5.479 33.16  77.01％  16.60％