[实用新型]一种用于新型绝缘体上半导体薄膜电学表征的测试系统

权利要求书

1.一种用于新型绝缘体上半导体薄膜电学表征的测试系统，包括测试台、测试台架、固定配件、导电载物台及测试屏蔽盒，其特征在于：还包括压力控制系统、探针定位系统，测试台上装有导电载物台及测试屏蔽盒，压力控制系统、探针定位系统采用固定配件安装在测试台架上。

2.根据权利要求1所述的一种用于新型绝缘体上半导体薄膜电学表征的测试系统，其特征在于：所述的探针定位系统采用探针高度定位控制器控制探针在X、Y、Z方向移动，压力控制系统主要由压力控制器、数字显示器、压力传感器、探针接触缓冲器及探针组成。

3.根据权利要求2所述的一种用于新型绝缘体上半导体薄膜电学表征的测试系统，其特征在于：所述的探针接触缓冲器由两根弹簧组成。

4.根据权利要求2所述的一种用于新型绝缘体上半导体薄膜电学表征的测试系统，其特征在于：探针的材料采用具有良好电导率的金属及金属合金制成。

5.根据权利要求1所述的一种用于新型绝缘体上半导体薄膜电学表征的测试系统，其特征在于：所述的屏蔽盒是一个对测试台进行屏蔽的盒状结构，屏蔽盒设有接地装置，该屏蔽盒材料为金属或金属合金。

6.根据权利要求1所述的一种用于新型绝缘体上半导体薄膜电学表征的测试系统，其特征在于：所述的导电载物台活动连接测试台，导电载物台的表面材料采用良好导电性能的金属制成，并与连接电极的屏蔽导线相连。

7.根据权利要求1所述的一种用于新型绝缘体上半导体薄膜电学表征的测试系统，其特征在于：该测试台与精密半导体参数分析仪连接。