[实用新型]用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器无效
| 申请号： | 200820054524.9 | 申请日： | 2008-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN201159752Y | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 孙惠良;张波;黄良君 | 申请（专利权）人： | 上海爱建纳米科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/22 | 分类号： | G01R29/22;G01R1/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 薛琦 |
| 地址： | 200237上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 压电 扫描 畸变 测试 可拆卸 扫描器 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器，其特征在于，其包括：一扫描台、扫描器壳体和底座，四个压簧设于该扫描器壳体，一个压簧设于该底座上，连接线一端连接到该些压簧上，一扫描管一端放置在该扫描台上且其另一端安装于该底座上。
2.如权利要求1所述的用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器，其特征在于，所述底座主体部分是一个圆柱体且横截面是梯形。
3.如权利要求1所述的用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器，其特征在于，所述底座为可拆卸式。
4.如权利要求1所述的用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器，其特征在于，所述扫描器壳体上有一凸缘形成的安装平台，该安装平台安装到扫描探针显微镜上。
5.如权利要求1所述的用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器，其特征在于，所述压簧对应设置一固定螺栓，该固定螺栓穿过扫描器壳体。
6.如权利要求1所述的用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器，其特征在于，所述扫描管的内壁插在底座上并与金属压簧接触。
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