[实用新型]一种空气采样系统稳固装置有效
申请号: | 200820054513.0 | 申请日: | 2008-01-07 |
公开(公告)号: | CN201138309Y | 公开(公告)日: | 2008-10-22 |
发明(设计)人: | 尹兰 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01N1/24 | 分类号: | G01N1/24 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 空气 采样系统 稳固 装置 | ||
1、一种空气采样系统稳固装置,其包括相互连接的一上盖和一下盖,该空气采样系统包括依次连接的采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵,其特征在于,该上盖上开设有形状分别与采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵相匹配的第一开口、第二开口和第三开口,该采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵分别经由第一开口、第二开口和第三开口设置在该稳固装置中。
2、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该上盖与下盖通过焊接方式连接。
3、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该上盖与下盖通过一铰接件铰接,还通过一锁固件锁固。
4、如权利要求3所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该铰接件为铰链或合叶,该锁固件为锁扣。
5、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该上盖与下盖的高度之和小于采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵中的最小者。
6、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该下盖上还对应采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵设置有第一限位部、第二限位部和第三限位部,该采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵分别通过第一开口、第二开口和第三开口进入稳固装置后,分别通过第一限位部、第二限位部和第三限位部限位固定。
7、如权利要求6所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该第一限位部、第二限位部和第三限位部均为凹槽。
8、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该采样瓶中装有用于吸收空气中待分析杂质的溶剂。
9、如权利要求8所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该溶剂为水。
10、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵通过连接导管依次连接。
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