[实用新型]一种空气采样系统稳固装置有效

专利信息
申请号: 200820054513.0 申请日: 2008-01-07
公开(公告)号: CN201138309Y 公开(公告)日: 2008-10-22
发明(设计)人: 尹兰 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G01N1/24 分类号: G01N1/24
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 2012*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 空气 采样系统 稳固 装置
【权利要求书】:

1、一种空气采样系统稳固装置,其包括相互连接的一上盖和一下盖,该空气采样系统包括依次连接的采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵,其特征在于,该上盖上开设有形状分别与采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵相匹配的第一开口、第二开口和第三开口,该采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵分别经由第一开口、第二开口和第三开口设置在该稳固装置中。

2、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该上盖与下盖通过焊接方式连接。

3、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该上盖与下盖通过一铰接件铰接,还通过一锁固件锁固。

4、如权利要求3所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该铰接件为铰链或合叶,该锁固件为锁扣。

5、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该上盖与下盖的高度之和小于采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵中的最小者。

6、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该下盖上还对应采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵设置有第一限位部、第二限位部和第三限位部,该采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵分别通过第一开口、第二开口和第三开口进入稳固装置后,分别通过第一限位部、第二限位部和第三限位部限位固定。

7、如权利要求6所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该第一限位部、第二限位部和第三限位部均为凹槽。

8、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该采样瓶中装有用于吸收空气中待分析杂质的溶剂。

9、如权利要求8所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该溶剂为水。

10、如权利要求1所述的空气采样系统稳固装置,其特征在于,该采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵通过连接导管依次连接。

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