[实用新型]显影制程设备

说明书

技术领域

本实用新型主要涉及一种显影制程设备，尤其是指一种应用于液晶显示器之显影制程设备。

背景技术

随着平面显示器技术之演进，液晶显示器已逐渐取代传统的阴极射线管显示器(Cathode Ray Tube；CRT)，而大量地使用在电视、电脑监视器、行动电话、车用萤幕与数码相框等等；同时，对于液晶显示器，其面板的品质要求，也愈益严苛。

而于液晶显示器的制造过程中，特别是关于阵列基板的曝光显影制程，其所显影之关键尺寸，对于液晶面板的品质占有举足轻重的影响；如果关键尺寸的稳定性不足，将会使得阵列基板上的各式元件，无法达成其预定之功能，同时对于显影制程之参数，其最佳化之调整，亦会造成困难。

在习知技术中，如图1，显影制程设备系由一喷嘴(Nozzle)10、一工作腔(Chamber)12、一中间贮槽(Process Tank)14与一显影液循环系统16所构成；其中，该显影液循环系统16包含：一第一支管160，连接该喷嘴10、一连接管路162，连接该工作腔12与该中间贮槽14、一第二支管164，连接该中间贮槽14及一显影液泵166，一显影液泵166连接该第二支管164及一主体管路168，主体管路168连接该第一支管160与该显影液泵166；

该喷嘴10在进行假配药(Dummy Dispense)时，其所排出的显影液系直接进入工作腔12后，再导入该中间贮槽(Process Tank)14中储存；因此，显影液与空气接触的机会较多，将导致该工作腔12内的三氧化碳(Carbon Trioxide；CO3)的浓度，会随着时间的推移而逐渐增加，导致显影液的浓度下降，影响所需的显影能力(Developing Ability)。

发明内容

本实用新型的主要目的在于，提供一种显影制程设备，其包含：一工作腔与一中间贮槽、一显影液循环系统，具有一连接管路，连接该工作腔与该中间贮槽、一喷嘴，配置于该工作腔内、以及一显影液承接组，对应于该喷嘴。藉由移动该显影液承接组，使其接近并靠住该喷嘴，并以该喷嘴进行显影液之假配药；以达到其可控制关键尺寸之稳定性的目的。

本实用新型的另一目的在于，提供一种显影制程设备，其中，藉着该显影液承接组承接该显影液，以提升该显影液之回收率的目的。

为达上述目的，本实用新型提出一种显影制程设备，其包含：一工作腔与一中间贮槽；一显影液循环系统，具有一连接管路，连接该工作腔与该中间贮槽；一喷嘴，配置于该工作腔内；以及一显影液承接组，对应于该喷嘴。

为达上述目的，本实用新型提出一种显影制程设备，其包含：一工作腔与一中间贮槽；一显影液循环系统具有一主体管路、一连接管路及，一连接管路连接该工作腔与该中间贮槽，一第一支管连接该主体管路与该喷嘴，一显影液泵连接该主体管路与一第二支管，一第二支管连接该显影液泵与该中间贮槽；一喷嘴，配置于该工作腔内；以及一显影液承接组，对应于该喷嘴。

为达上述目的，本实用新型提出一种显影制程设备，其包含：一工作腔与一中间贮槽；一显影液循环系统，具有一连接管路，连接该工作腔与该中间贮槽；一喷嘴，配置于该工作腔内；以及一显影液承接组，对应于该喷嘴；其中，该显影液承接组包含一显影液承接器，对应于该喷嘴，一显影液输送管连接该显影液承接器，并贯穿该工作腔与该中间贮槽，一支架置于该工作腔内并连接该显影液承接器及一作动马达。

本实用新型的有益效果在于，提供一种显影制程设备，其包含：一工作腔与一中间贮槽、一显影液循环系统，具有一连接管路，连接该工作腔与该中间贮槽、一喷嘴，配置于该工作腔内、以及一显影液承接组，对应于该喷嘴。藉由移动该显影液承接组，使其接近并靠住该喷嘴，并以该喷嘴进行显影液之假配药，最后再藉着该显影液承接组承接该显影液；以达到其可控制关键尺寸之稳定性，并提升该显影液之回收率的效果。

附图说明

图1为习知技术之显影制程设备示意图

图2A、图2B为本实用新型的工作腔内气体浓度及显影能力之关系示意图

图3A、图3B为本实用新型之显影制程设备示意图

具体实施方式

为使本实用新型所属技术领域中，具有通常知识者得以理解本实用新型之内容，故将搭配图示，详细说明如后。