[实用新型]外延炉尾气净化器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种对Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。

背景技术

在Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气中含有多种有毒废气，如SiHCl3、SiH2Cl2、HCl、PH3及SiO2粉尘等，这些有毒气体必须经过严格的处理达到排放标准后才能排入大气中。这些废气中有的能与水反应，生成SiO₂和HCl气体等，而HCl等气体和废气中的其他成份可以被水有效吸收，因此，目前，美国、俄罗斯、日本等国大多采用水吸收型尾气处理系统，采用水柱淋洗尾气和多孔填料吸收，但是在生产过程中外延炉的尾气排放量并不是始终一致，大部分的尾气是在一次外延沉积结束后在短期内排出，在大部分的时间内尾气排放量不是很大，而且外延炉对尾气抽风有严格的负压要求，现有的外延炉尾气净化器不能实时检测外延炉的尾气排放量、根据外延炉尾气排放量控制电机转速，而浪费能源。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：解决现在的外延炉尾气净化器不能实时检测外延炉的尾气排放量、根据外延炉尾气排放量控制电机转速，而浪费能源的技术问题，本实用新型提供一种外延炉尾气净化器，它能实时检测外延炉的尾气排放量，根据外延炉尾气排放量控制电机转速，在尾气排放比较少的情况下，控制电机低速运转，达到节能的效果。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种外延炉尾气净化器，具有壳体，壳体下方设置有密闭的水箱，壳体内设置有横隔板和纵隔板，将壳体内腔分隔成初次洗涤室、二次洗涤室和填料室，二次洗涤室设在初次洗涤室上方，横隔板中心开有通气口，横隔板与壳体间工作时形成水封，初次洗涤室底部和填料室底部与水箱间工作时形成水封，壳体顶端装有进气口，进气口通过进气管道与初次洗涤室下部相通，二次洗涤室与填料室通过通气管道连通，初次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置，二次洗涤室内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置，填料室的上部设置有填料室横隔板，填料室横隔板上有孔，填料室横隔板下方的填料室内充填有填料，填料室的顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置，排泄锥喷嘴喷淋装置下方设置有文丘里管，文丘里管底部与填料室横隔板固定连接，填料室横隔板在对应于文丘里管的管口处还开设有与文丘里管的管口相配的孔，通气管道的进口在二次洗涤室的上部、出口正对填料室的排泄锥喷嘴喷淋装置，填料室的外部装有排气管道，排气管道的下端接入填料室的下部，水箱顶端装有向水箱补水的补水口、水箱的底部装有排污口和排净口，初次洗涤室下部装有通向壳体外的溢流管道，溢流管道的溢流口高于初次洗涤室的底面，壳体外装有循环泵组，循环泵组的进水口通入水箱液面下、出水口通过水管与大流量喷嘴喷淋装置、细雾高速喷嘴喷淋装置及排泄锥喷嘴喷淋装置相连，还具有PID控制器、实时检测进气口的负压情况的负压检测装置和控制循环泵组的电机的转速的变频器，负压检测装置安装在进气口处，负压检测装置接PID控制器的输入端，变频器接PID控制器的输出端。负压检测装置对进气口的负压情况进行实时检测，并不断的将检测的数据传入到PID控制器中，PID控制器对检测数据与工艺设定数据进行比较计算并结合变频器来控制循环泵组的电机的转速，实现对循环泵组的PID控制。这样一方面可以保证外延炉尾气排放口的负压满足工艺要求；另一方面，在外延沉积过程中外延炉的尾气排放量比较少的情况下，控制循环泵组的电机低速运转，达到节能的效果。

为便于对初次洗涤室和二次洗涤室内的大流量喷嘴喷淋装置和细雾高速喷嘴喷淋装置进行检修，在初次洗涤室和二次洗涤室的壳体上开有检修口。

所述的循环泵组出水口处的水管上还接有加药管，加药管上装有单向阀，针对处理的尾气的特点，当需要加入中和剂时，由加药管向循环泵组出水口处的水管中加入中和剂。

所述的补水口还通过补水管道与初次洗涤室相通，补水管道上装有补水闸阀。通过补水管道对初次洗涤室进行补水，这样一来可以使初次洗涤室清除的部分粗粒杂质随着泡沫从溢流口排出，二来防止中和循环液饱和。

所述的壳体外还装有清洗设备外壳的冲洗喷嘴，冲洗喷嘴通过冲洗管道与循环泵的出水口相连，冲洗管道上装有冲洗闸阀，根据需要打开冲洗闸阀对设备外壳进行冲洗。

本实用新型的有益效果是，本实用新型的外延炉尾气净化器能实时检测外延炉的尾气排放量，根据外延炉尾气排放量控制电机转速，在尾气排放量比较少的情况下，控制电机低速运转，达到节能的效果。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。