[实用新型]基于MEMS异径管流量传感器的液压系统功率测量装置无效
| 申请号： | 200820015110.5 | 申请日： | 2008-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN201241896Y | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 张洪朋;顾长智;张银东;梅涛;陈海泉;孙玉清 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | F15B19/00 | 分类号： | F15B19/00;G01F1/34 |
| 代理公司： | 大连八方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 卫茂才 |
| 地址： | 11602*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 异径管 流量传感器 液压 系统 功率 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1、基于MEMS异径管流量传感器的液压系统功率测量装置，其特征在于，该装置由测量管(1)、异径管(2)、支撑架(5)、信号采集处理设备(7)、压力传感器(8)及流量传感器部分的MEMS敏感芯体(3)、信号线(4)、流量计二次仪表(6)构成；异径管(2)通过支撑架(5)固定在测量管(1)内部与测量管(1)保持同轴，异径管(2)开口方向与液流方向相反；MEMS敏感芯体(3)封装在异径管(2)壁上进行测量；MEMS敏感芯体(3)的两个压力测量口分别接触高压、低压流体；信号线(4)与MEMS敏感芯体(3)连接后引出测量管(1)至流量计二次仪表(6)；流量计二次仪表(6)和压力传感器(8)与信号采集处理设备(7)连接。
2、根据权利要求1所述的基于MEMS异径管流量传感器的液压系统功率测量装置，其特征在于，所述的MEMS敏感芯体(3)为硅微压阻式、压电式或电容式微型压力/压差敏感芯体。
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