[发明专利]薄膜电路产品基片处理方法有效
| 申请号: | 200810304256.6 | 申请日: | 2008-08-28 |
| 公开(公告)号: | CN101337830A | 公开(公告)日: | 2009-01-07 |
| 发明(设计)人: | 杨传仁;杨莉军;陈宏伟;张继华 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
| 主分类号: | C04B41/86 | 分类号: | C04B41/86 |
| 代理公司: | 成都虹桥专利事务所 | 代理人: | 李顺德 |
| 地址: | 610054四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 薄膜 电路 产品 处理 方法 | ||
1.薄膜电路产品基片处理方法,包括玻璃釉制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:
1)配制CaAlSi系玻璃釉溶胶;
2)对陶瓷基片进行常规清洁处理;
3)在所述基片上均匀被覆CaAlSi系玻璃釉溶胶;
4)溶胶的凝胶化和干燥;
5)高温烧结;
配制CaAlSi系玻璃釉溶胶具体步骤如下:
A)配制1~10mol/L的AlCl3溶液,1~10mol/L的Ca(NO3)2溶液,混合,磁力搅拌至溶解得到铝钙混合液;
B)配制1~10mol/L正硅酸乙酯的酒精溶液;
C)配制醋酸的酒精溶液,冰醋酸与无水乙醇的体积比为1~1/10;
D)将上述步骤B和C配制的溶液按1~1/10的体积比混合得到硅溶胶;
E)将步骤D得到的混合液与步骤A配制的溶液按1~1/10的体积比混合,磁力搅拌5~10h;
F)通过有机系溶剂微孔过滤膜抽滤,得到CaAlSi系玻璃釉溶胶。
2.根据权利要求1所述的薄膜电路产品基片处理方法,其特征在于,所述基片材料为Al2O3陶瓷。
3.根据权利要求1所述的薄膜电路产品基片处理方法,其特征在于,步骤3中,被覆CaAlSi系玻璃釉溶胶的方法为旋涂或提拉或喷涂或浸渍。
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