[发明专利]薄膜电路产品基片处理方法有效

专利信息
申请号: 200810304256.6 申请日: 2008-08-28
公开(公告)号: CN101337830A 公开(公告)日: 2009-01-07
发明(设计)人: 杨传仁;杨莉军;陈宏伟;张继华 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: C04B41/86 分类号: C04B41/86
代理公司: 成都虹桥专利事务所 代理人: 李顺德
地址: 610054四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 薄膜 电路 产品 处理 方法
【权利要求书】:

1.薄膜电路产品基片处理方法,包括玻璃釉制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:

1)配制CaAlSi系玻璃釉溶胶;

2)对陶瓷基片进行常规清洁处理;

3)在所述基片上均匀被覆CaAlSi系玻璃釉溶胶;

4)溶胶的凝胶化和干燥;

5)高温烧结;

配制CaAlSi系玻璃釉溶胶具体步骤如下:

A)配制1~10mol/L的AlCl3溶液,1~10mol/L的Ca(NO3)2溶液,混合,磁力搅拌至溶解得到铝钙混合液;

B)配制1~10mol/L正硅酸乙酯的酒精溶液;

C)配制醋酸的酒精溶液,冰醋酸与无水乙醇的体积比为1~1/10;

D)将上述步骤B和C配制的溶液按1~1/10的体积比混合得到硅溶胶;

E)将步骤D得到的混合液与步骤A配制的溶液按1~1/10的体积比混合,磁力搅拌5~10h;

F)通过有机系溶剂微孔过滤膜抽滤,得到CaAlSi系玻璃釉溶胶。

2.根据权利要求1所述的薄膜电路产品基片处理方法,其特征在于,所述基片材料为Al2O3陶瓷。

3.根据权利要求1所述的薄膜电路产品基片处理方法,其特征在于,步骤3中,被覆CaAlSi系玻璃釉溶胶的方法为旋涂或提拉或喷涂或浸渍。

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