[发明专利]光学镀膜装置无效
| 申请号： | 200810302468.0 | 申请日： | 2008-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN101620279A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 吴佳颖 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种光学镀膜装置，其包括真空镀膜室、转动轴、基板承载架及蒸镀源，所述基板承载架与所述转动轴连接并设置在所述真空镀膜室的顶部，所述蒸镀源设置在所述真空镀膜室的底部，其特征在于，一个滑槽环绕所述真空镀膜室内壁设置，基板承载架外边缘延伸一环形凸缘，该环形凸缘伸入所述滑槽内。
2.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述滑槽形成于所述真空镀膜室内壁内。
3.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述光学镀膜装置包括环形滑轨，所述环形滑轨环绕所述真空镀膜室内壁设置，所述滑槽形成于所述环形滑轨上。
4.如权利要求3所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述环形滑轨与所述真空镀膜室内壁为一体结构。
5.如权利要求3所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述环形滑轨利用机械或化学的方式固定在所述真空镀膜室内壁上。
6.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述基板承载架的环形凸缘设置有滑动件，所述滑动件与所述滑槽滑动接触。
7.如权利要求6所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述滑动件是滚轮、滚珠或滚动轴承的一种。
8.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述环形凸缘与所述滑槽之间留有间隙。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810302468.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
