[发明专利]一种具有长焦深的激光装置无效
| 申请号： | 200810302456.8 | 申请日： | 2008-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101620317A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 韦安琪;陈志隆 | 申请（专利权）人： | 富士迈半导体精密工业（上海）有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B17/08;G03F7/20 |
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| 地址： | 201600上海市松江区松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 焦深 激光 装置 | ||
1.一种具有长焦深的激光装置，包括：
一个激光源，其用于发射单波长紫外光；
一个光学模组，其包括一个与设置在该单波长紫外光光路上的第一光学元件，该第一光学元件具有一个邻近该激光源的第一表面及一个与该第一表面相对的第二表面，该第一表面与该第二表面中至少一者为非球面以用于使所述单波长紫外光会聚于一点，该光学模组进一步包括一个第一反射元件及一个第二反射元件，该第一反射元件与该第二反射元件设置在该激光源与该第一光学元件之间，该第一反射元件的焦距f1与该第二反射元件的焦距f2，满足以下的条件式：
|f1|+|f2|＝d
|f2|/|f1|＝2fw/(BGDOF)
其中，d表示该第一反射元件与该第二反射元件的顶点间距，f表示该第一光学元件的焦距，w表示该激光源发射出的单波长紫外光经由该光学模组出射后所形成的光斑的直径，B表示该激光源发射出的单波长紫外光的光束直径，GDOF表示该激光装置的几何焦深。
2.如权利要求1所述的激光装置，其特征在于，该第一表面或该第二表面为球面。
3.如权利要求1所述的激光装置，其特征在于，该第一表面或该第二表面为平面或圆柱面。
4.如权利要求1所述的激光装置，其特征在于，该第一光学元件为一锥形透镜。
5.如权利要求1所述的激光装置，其特征在于，该光学模组进一步包括一个第二光学元件，该第二光学元件设置在该第一光学元件的远离该激光源的一侧，该第二光学元件具有一个邻近该第一光学元件的第三表面及与该第三表面相对的第四表面。
6.如权利要求5所述的激光装置，其特征在于，该第三表面与该第四表面中至少一者为非球面。
7.如权利要求5所述的激光装置，其特征在于，该第三表面与该第四表面为平面、球面或圆柱面。
8.如权利要求1所述的激光装置，其特征在于，该第一反射元件与该第二反射元件为椭球面反射镜。
9.如权利要求1所述的激光装置，其特征在于，该第一反射元件与该第二反射元件为抛物面反射镜。
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