[发明专利]模仁及其制作方法

权利要求书

1.一种制作模仁的方法，其包括：

提供一层硅晶圆基材；

于所述基材一表面形成一层中间层；

于所述中间层上形成一层催化剂层；

在催化剂层表面涂布光阻层，采用光罩对所述光阻层进行曝光处理，曝光之后 对光阻层进行显影处理，从而形成图案化的光阻层，之后对所述图案化的光阻 层进行硬烤；

分别采用不同的蚀刻液先后蚀刻所述催化剂层与所述中间层，所述催化剂层以 及所述中间层中被所述光阻层保护的部分保留下来而其余的部分被蚀刻掉，从 而形成多个相互分离的中间层图形以及形成多个位于所述多个相互分离的中间 层上的相互分离的催化剂层图形；

采用溶剂去除所述图案化的光阻层；

采用激光束直写、离子束直写、电子束直写、或者灰阶光罩微影法在每个所述 催化剂层图形上形成预定形状的外表面；及

采用无电镀的方法在多个具有预定形状外表面上生长金属层以得到多个相互分 离的且外表面具有预定形状的成型部，从而形成模仁。

2.如权利要求1所述的制作模仁的方法，其特征在于，所述催化剂层与所述金 属层材质相同。