[发明专利]非球面模仁的制造方法

权利要求书

1.一种非球面模仁的制造方法，其包括以下步骤：

提供一模仁基底；

在所述模仁基底上形成正光阻层；

利用直写技术在所述正光阻层上形成微小阶梯状结构，所述微小阶梯状结 构整体呈类非球面形状，所述微小阶梯状结构的形成步骤包括：根据待加 工的非球面模仁面的非球面方程式，将该非球面分成若干等份，计算出每 一等份的阶梯状结构的宽度及深度，并据此来设定直写时每一阶所需的相 应宽度及深度；

加热所述正光阻层并精密控制该加热温度，使该正光阻层软化流动从而使 该微小阶梯状结构的表面趋近平滑，最后形成光滑非球面模仁。

2.如权利要求1所述的非球面模仁的制造方法，其特征在于，所述模仁基底为 塑料、石英玻璃、碳化硅、碳化钨或金属。

3.如权利要求1所述的非球面模仁的制造方法，其特征在于，所述正光阻层采 用旋涂方法或喷涂方法形成。

4.如权利要求1所述的非球面模仁的制造方法，其特征在于，所述直写技术为 激光直写技术或电子束直写技术。

5.如权利要求1所述的非球面模仁的制造方法，其特征在于，进一步包括一硬 烤步骤，该硬烤步骤在所述加热步骤之后进行。

6.如权利要求5所述的非球面模仁的制造方法，其特征在于，所述硬烤温度为 185～200摄氏度，烘烤时间为15～20分钟。